[发明专利]一种高精度滑台

权利要求书

1.一种高精度滑台，其特征在于：所述高精度滑台包括：底板；驱动机构与传动机构，所述驱动机构与传动机构设于所述底板上，所述驱动机构驱动机构运转；驱动板，所述驱动板设置在传动机构的移动端上并由驱动机构驱动延直线位移；滑动平台，所述滑动平台由驱动板带动延驱动板位移方向的垂直方向位移；以及限位机构，所述限位机构限制住滑动平台朝向驱动板位移方向的自由度。

2.根据权利要求1所述的一种高精度滑台，其特征在于：所述传动机构包括丝杆以及与丝杆螺纹连接的丝杆螺母，所述驱动板设置在丝杆螺母上。

3.根据权利要求2所述的一种高精度滑台，其特征在于：所述传动机构还包括轴承座，所述轴承座设置在底板上，所述丝杆的两端设置在轴承座的轴承内。

4.根据权利要求3所述的一种高精度滑台，其特征在于：所述驱动机构为电机，所述丝杆通过联轴器设置在电机的动力输出轴上。

5.根据权利要求4所述的一种高精度滑台，其特征在于：所述驱动板上设置有导轨，所述导轨与驱动板的位移方向具有夹角N,所述滑动平台上设有与导轨相配合的滑槽，所述滑槽与驱动板的位移方向也具有夹角N。

6.根据权利要求5所述的一种高精度滑台，其特征在于：所述限位机构包括设于滑动平台上的滚轮、设于底板上的支撑柱和设于支撑柱顶面上的挡板，所述滚轮设于滑动平台上驱动板移动方向的两侧、且其安置在所述支撑柱上。

7.根据权利要求6所述的一种高精度滑台，其特征在于：所述导轨采用交叉滚子导轨，所述滑动平台的底部设有相互平行的滑轨，所述滑轨之间形成滑槽，所述滑轨滑动设置在滑槽内。