[发明专利]夹爪、张网装置及张网方法

说明书

本发明提供一种夹爪、张网装置及张网方法。其中，夹爪中的导向单元包括具有至少两个连接轴的气浮导轨。在拉伸过程中夹持单元受到两个及以上的导向力，避免出现扭转导致的掩模板损坏或偏离目标焊接区域，影响张网精度。并且，反馈单元实时监测掩模板的拉伸位移并反馈至张网装置中的控制单元中，控制单元据此调整驱动单元提供的拉力，不仅提高张网精度，还避免掩模板的拉损。此外，夹爪的驱动单元中还加设了拉伸保护装置，拉伸保护装置可避免掩模板被拉损。当掩模板受到的拉力大于弹性件的弹力设定值时，弹性件增加弹性形变伸出第一框架，带动盖板与第一框架分离，以平衡拉力，减少掩模板的受力，进而保护掩模板免于被拉损，提高产率和经济效益。

技术领域

本发明涉及集成电路制造技术领域，特别涉及一种夹爪、张网装置及张网方法。

背景技术

张网装置是OLED(有机发光二极管又称有机电致发光显示，Organic Light-Emitting Diode)有机材料蒸镀产线的关键设备。它负责将高精度的金属掩模板固定在框架上，使得金属掩模板在后续的工作过程中保持图像位置正确、不变形、不扭曲。现有工艺是通过夹爪系统夹持并拉伸金属掩模板，使得金属掩模板位于目标焊接区域，再进行焊接固定。

然而，夹爪在夹持并拉伸金属掩模板的过程中极易出现电机拉力超出金属掩模板受力范围的情况，致使金属掩模板断裂或者造成其他损坏。此外，在现有的夹爪拉伸的过程中，因导向固定效果不好，会使得金属掩模板受力不均匀，出现扭转的现象，偏离目标焊接区域，影响张网精度。加之，现有的张网装置的张网精度不高，则金属掩模板的拉损或位置偏离会进一步增加张网轮数，造成产率下降，影响经济效益。

因此，需要一种新的夹爪、张网装置以及方法，以提高张网精度，避免金属掩模板的拉损，降低经济损失，提高产率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种夹爪、张网装置及张网方法，以解决张网精度低以及如何避免掩模板的拉损中的至少一个问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种夹爪，用于夹持和拉伸掩模板，包括：夹持单元、导向单元、驱动单元以及反馈单元；

所述夹持单元用于夹持所述掩模板；

所述导向单元包括具有至少两个连接轴的气浮导轨；所述至少两个连接轴分别与所述夹持单元连接，以限定所述夹持单元的运动方向；

所述驱动单元包括第一电动机和拉伸保护装置；所述第一电动机用于驱动所述夹持单元沿限定的运动方向运动，以拉伸所述掩模板；所述拉伸保护装置包括第一框架、弹性件和盖板；所述第一框架的外壁与所述第一电动机相连；所述弹性件设置于所述第一框架内，且其中一端部固定于所述第一框架的内壁上，另一端部与所述盖板连接；所述盖板抵靠并覆盖所述第一框架的一开口，且当所述掩模板受到的拉力大于所述弹性件的弹力设定值时，所述弹性件伸出所述第一框架，并带动所述盖板与所述第一框架分离，以平衡所述拉力；

所述反馈单元包括光栅尺，用于实时监测所述掩模板的拉伸位移。

可选的，在所述的夹爪中，所述弹性件沿所述夹持单元的运动方向设置，以使当所述第一电动机提供拉力时，所述弹性件的弹性形变方向与所述拉力方向相同。

可选的，在所述的夹爪中，所述弹性件的弹力设定值小于所述掩模板破坏的拉力容许值。

可选的，在所述的夹爪中，所述夹持单元包括第二框架、第一导轨、第二导轨、第三导轨、第四导轨、第一连接件以及第二连接件；

所述第一导轨和所述第二导轨的延伸方向平行，且分别固定于所述第二框架内相对的两侧面上；所述第三导轨沿垂直于所述第一导轨的方向延伸，且固定于所述第二框架内的与所述两侧面相接的一侧面上；所述第四导轨的延伸方向与所述第二导轨的延伸方向呈一倾斜角，且固定于所述第一连接件上；