[发明专利]压力计的保护结构及使用方法在审
| 申请号： | 202110864537.2 | 申请日： | 2021-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115681823A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 徐亚平 | 申请（专利权）人： | 中芯南方集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | F17D5/00 | 分类号： | F17D5/00;F17D1/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力计 保护 结构 使用方法 | ||
1.一种压力计的保护结构，其特征在于，包括：
缓冲腔，具有第一管路和第二管路，所述第一管路的端部连接所述压力计，所述第二管路的端部连接反应腔；
多个所述缓冲挡板，位于所述缓冲腔内；
清洁管路，一端连接在所述第一管路上，且位于所述缓冲腔与所述压力计之间；
排空管路，一端连接在所述第二管路上。
2.如权利要求1所述的压力计的保护结构，其特征在于，所述缓冲腔的横截面呈圆形或者椭圆形。
3.如权利要求1所述的压力计的保护结构，其特征在于，所述缓冲挡板在所述缓冲腔内上下叠层分布。
4.如权利要求1所述的压力计的保护结构，其特征在于，还包括若干阻隔件，若干所述阻隔件位于所述缓冲挡板上。
5.如权利要求1所述的压力计的保护结构，其特征在于，所述缓冲挡板的长度与所述缓冲腔的横截面的最大直径的比值为0.7:1～0.9:1。
6.如权利要求1所述的压力计的保护结构，其特征在于，所述缓冲挡板的数量为3至6个。
7.如权利要求1所述的压力计的保护结构，其特征在于，还包括第一控制阀，所述第一控制阀位于所述清洁管路上，用于控制所述清洁管路的通断。
8.如权利要求1所述的压力计的保护结构，其特征在于，还包括第二控制阀，所述第二控制阀位于所述排空管路上，用于控制所述排空管路的通断。
9.如权利要求1所述的压力计的保护结构，其特征在于，还包括清洁气体的来源腔，所述清洁气体的来源腔与所述清洁管路的另一端部连接，所述清洁管路用于所述清洁气体的输送。
10.如权利要求1所述的压力计的保护结构，其特征在于，还包括真空泵，所述真空泵连接在所述排空管路的另一端部。
11.一种压力计的保护结构的使用方法，其特征在于，包括：
如权利要求1至权利要求10任一项所述的压力计的保护结构；
清洁气体从所述清洁管路的另一端部进入到所述清洁管路内，对所述压力计进行清洁后，经过所述第一管路、所述缓冲腔后从所述排空管路的另一端排出。
12.如权利要求11所述压力计的保护结构的使用方法，其特征在于，所述清洁气体在所述缓冲腔内呈“Z”型排出。
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