[发明专利]一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法

权利要求书

1.一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法，其特征在于，步骤包括：

调整CCD摄像机以使硅棒、导流筒和熔硅液面投影至视觉界面内；

判断在所述视觉界面内所述导流筒是否偏移并予以校正；

获取若干组所述硅棒在所述视觉界面内的尺寸；

基于所述CCD摄像机的像素值和若干组所述硅棒在所述视觉界面内的尺寸，算出所述硅棒在拉制过程中的在线直径。

2.根据权利要求1所述的一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法，其特征在于，所述调整CCD摄像机以使硅棒、导流筒和熔硅液面投影至视觉界面内，步骤包括：

获取等径时硅棒、导流筒及熔硅液面的投影几何图形，并使所述硅棒、所述导流筒及所述熔硅液面的投影几何图形均汇聚于同一个所述视觉界面内；

调整所述CCD摄像机角度以使所述硅棒投影几何图形与所述导流筒投影结合图形同轴心设置；

所述硅棒投影几何图形的圆心与所述视觉界面的中心重合。

3.根据权利要求2所述的一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法，其特征在于，在所述硅棒投影几何图形的圆心与所述视觉界面的中心重合之后，还包括：

调整所述CCD摄像机的焦距以使所述导流筒投影几何图形的水平直径与所述硅棒投影几何图形的水平直径重叠设置。

4.根据权利要求1-3任一项所述的一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法，其特征在于，所述判断在所述视觉界面内所述导流筒是否偏移并予以校正，具体包括：

获取所述导流筒投影几何图形的横向直径两端分别至所述视觉界面两侧边的水平直线距离；

再依次确定获得的所述导流筒投影几何图形的横向直径两端分别至所述视觉界面两侧边的水平直线距离是否相同；

若不相同，继续调整所述CCD摄像机，以使所述导流筒投影几何图形的横向直径两端分别至所述视觉界面两侧边的水平直线距离相同。

5.根据权利要求4所述的一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法，其特征在于，若相同；

再在靠近所述导流筒投影几何图形的横向直径两端侧，取任两个相对于纵向轴线对应设置的所述导流筒与所述熔硅液面之间的圆弧夹角面；

并计算出其角度差，以确定所述导流筒与所述熔硅液面的水平偏移量。

6.根据权利要求5所述的一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法，其特征在于，所述角度差绝对值的标准范围为0-3°。

7.根据权利要求5或6所述的一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法，其特征在于，任两个相对于纵向轴线对应设置的所述导流筒与所述熔硅液面之间的圆弧夹角面位于所述导流筒投影几何图形的横向直径两端。

8.根据权利要求7所述的一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法，其特征在于，若所述角度差超出其标准范围，则

调整所述导流筒的上下高度，以使调整所述导流筒的水平偏移量。

9.根据权利要求1-3、5-6、8任一项所述的一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法，其特征在于，所述获取若干组所述硅棒在所述视觉界面内的尺寸，包括：

在所述硅棒投影几何图形上取N个直径尺寸测试值，其中，N≥4且为整数；

去掉最大和最小的直径尺寸测试值，并计算剩余(N-2)个的平均直径尺寸测试值。

10.根据权利要求9所述的一种等径制程中硅棒在线直径的检测方法，其特征在于，所述基于所述CCD摄像机的像素值和若干组所述硅棒在所述视觉界面内的尺寸，算出所述硅棒在拉制过程中的在线直径，具体包括：

获取所述CCD摄像机像素值；

根据获取的所述硅棒的平均直径尺寸测试值，使所述像素值除以获取的所述硅棒的平均直径尺寸测试值再乘以修正系数，获得的结果即可获得所述硅棒的在线直径值；

其中，所述系数为4-4.5。