[发明专利]一种应用于异质结的钙钛矿靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种应用于异质结的钙钛矿靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将MoO₃粉体、SrCO₃粉体加入到球磨机中，再加入分散剂、粘结剂、去离子水，球磨，干燥，得到SrMoO₄粉体；

S2、将SrMoO₄粉体放入到管式炉中，通入还原性气体，将SrMoO₄粉体完全还原成SrMoO₃粉体；

S3、将SrMoO₃粉体进行热处理，得到前驱体粉末；

S4、将前驱体粉末用冷等静压设备压制成型得到坯体；

S5、将坯体进行排胶处理，烧结，得到应用于异质结的钙钛矿靶材。

2.根据权利要求1所述的应用于异质结的钙钛矿靶材的制备方法，其特征在于，所述MoO₃粉体、SrCO₃粉体、分散剂、粘结剂、去离子水质量比为1：0.9~1.1：0.01~0.05：0.02~0.06：0.2~0.5。

3.根据权利要求1所述的应用于异质结的钙钛矿靶材的制备方法，其特征在于，所述MoO₃粉体、SrCO₃粉体、分散剂、粘结剂、去离子水质量比为1：1：0.04：0.05：0.3。

4.根据权利要求1所述的应用于异质结的钙钛矿靶材的制备方法，其特征在于，所述分散剂为聚乙二醇、聚乙烯吡咯烷酮、十二烷基苯磺酸钠中的一种或多种；

所述粘结剂为聚乙烯醇缩丁醛。

5.根据权利要求1所述的应用于异质结的钙钛矿靶材的制备方法，其特征在于，所述S2步骤具体为：

将SrMoO4粉体放入到管式炉中，通入氨气，在950~1200℃下还原8~13h。

6.根据权利要求1所述的应用于异质结的钙钛矿靶材的制备方法，其特征在于，所述S3热处理具体为：将SrMoO3粉体在850~1000℃下处理4~10h。

7.根据权利要求1所述的应用于异质结的钙钛矿靶材的制备方法，其特征在于，所述将前驱体粉末用冷等静压设备压制成型得到坯体具体为：将前驱体粉末用冷等静压设备压制成型，采用阶梯式加压和泄压，加压速率为15~25MPa/min，压力升至180~220 MPa时，保压6~12min，再以8~12 MPa/min泄压。

8.根据权利要求1所述的应用于异质结的钙钛矿靶材的制备方法，其特征在于，所述排胶具体为：将坯体用热风循环排胶炉进行排胶处理，排胶工艺具体为：以0.8~2℃/min升温至180~220℃，保温20~35min；以0.5~1.5℃/min升温至250~350℃，保温40~70min；以0.5~1.5℃/min升温至480~550℃，保温40~70min；冷却至室温。

9.根据权利要求1所述的应用于异质结的钙钛矿靶材的制备方法，其特征在于，所述烧结采用分段升温和分段降温，具体为：将排胶后的坯体置于烧结炉，以0.5~2℃/min升温至1000~1100℃，保温0.5~2h；以1~3℃/min升温至1380~1420℃，保温1~4h；以0.5~1.5℃/min降温至1000~1100℃，保温0.5~2h；以0.2~0.8℃/min降温至800~850℃，保温0.5~1h；以1~2℃/min降至室温。

10.根据权利要求1所述的应用于异质结的钙钛矿靶材的制备方法，其特征在于，所述烧结采用分段升温和分段降温，具体为：将排胶后的坯体置于烧结炉，以0.8℃/min升温至1050℃，保温1h；以1.5℃/min升温至1400℃，保温2h；以1℃/min降温至1050℃，保温1h；以0.5℃/min降温至820℃，保温0.5h；以1.5℃/min降至室温。