[发明专利]测试装置

权利要求书

1.一种测试装置，用于测试电子元件，其特征在于，包括测试台(10)及电路板(20)，所述电路板(20)与所述测试台(10)电性连接；

所述测试台(10)上开设有进气孔(14)、出气孔(15)及气体流道(16)，所述气体流道(16)分别与所述进气孔(14)及所述出气孔(15)连通，气体能够从所述进气孔(14)进入所述气体流道(16)，从所述出气孔(15)流出并接触所述电路板(20)，以将所述电路板(20)的温度控制在-10℃-100℃范围之内。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试台(10)包括引气块(17)及基板(11)，所述引气块(17)设于所述基板(11)内并与所述基板(11)分体设置，所述气体流道(16)开设于所述引气块(17)，所述气体流道(16)贯穿所述引气块(17)的内壁形成多个出气孔(15)。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，沿着所述引气块(17)的高度方向，所述引气块(17)分层设置。

4.根据权利要求1或2所述的测试装置，其特征在于，所述测试台(10)包括测试座(12)，所述测试座(12)设于所述测试台(10)上并与所述电路板(20)电性连接，所述测试台(10)上开设有凹槽(13)，光线能够穿过所述凹槽(13)并射至所述测试座(12)，所述气体流道(16)分层设置以避让所述凹槽(13)。

5.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述气体流道(16)至少包括第一层(161)及第二层(162)，所述第一层(161)相对所述第二层(162)靠近所述电路板(20)设置，所述出气孔(15)位于所述第一层(161)。

6.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述气体流道(16)包括第一道(163)、第二道(164)及第三道(165)，所述进气孔(14)与所述第一道(163)连通，所述第三道(165)与所述第一道(163)分层设置并通过所述第二道(164)连通，所述第三道(165)与所述出气孔(15)连通。

7.根据权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述第三道(165)包括第一支路(1651)、第二支路(1652)及第三支路(1653)，所述第一支路(1651)的一端与所述第二道(164)连通，另一端分别与所述第二支路(1652)及所述第三支路(1653)连通，所述第二支路(1652)与所述第三支路(1653)分别朝向相反的方向延伸。

8.根据权利要求6所述的测试装置，其特征在于，所述第二支路(1652)包括第一主支路(1652a)、第一连通路(1652b)及第一副支路(1652c)，所述第一主支路(1652a)连通于所述第一支路(1651)，所述第一主支路(1652a)远离所述第一支路(1651)的一端连接于所述第一连通路(1652b)，所述第一连通路(1652b)朝向靠近所述第一道(163)所在层的方向延伸并与所述第一副支路(1652c)连通；所述第三支路(1653)包括第二主支路(1653a)、第二连接管及第二副支路(1653c)，所述第二主支路(1653a)连通于所述第一支路(1651)，所述第二主支路(1653a)远离所述第一支路(1651)的一端连接于所述第二连通路(1653b)，所述第二连通路(1653b)朝向靠近所述第一道(163)所在层的方向延伸并与所述第二副支路(1653c)连通。

9.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试台(10)包括基板(11)，所述基板(11)与所述电路板(20)之间设有隔热板(18)。

10.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述测试装置还包括切换阀，所述切换阀分别连接第一气源及第二气源，且与所述进气孔(14)连通；

当所述电路板(20)的温度高于或等于T₁，所述第一气源通过所述切换阀连通所述进气孔(14)，以降低所述电路板(20)的温度；

当所述电路板(20)的温度低于或等于T₂，所述第二气源通过所述切换阀连通所述进气孔(14)，以升高所述电路板(20)的温度。