[发明专利]预倾斜样品夹具及样品加工方法

权利要求书

1.一种预倾斜样品夹具的样品加工方法，利用预倾斜样品夹具实现，预倾斜样品夹具包括夹具器、预倾支撑台和圆柱形通孔的基台；其中，在所述夹具器内设置有小孔，针尖样品的柱形端固定在所述小孔内，所述针尖样品的尖针露于所述小孔之外；所述预倾支撑台具有用于定位所述夹具器的斜面，所述斜面与水平面所成的夹角为30°-42°，在所述斜面上设置有与所述夹具器形状匹配的容纳槽，所述夹具器的一端限位于所述容纳槽内；所述夹具器为分体结构，包括第一分体和第二分体，在所述第一分体上和所述第二分体上分别沿轴向开设有通槽，两个通槽合围形成所述小孔，所述预倾支撑台的底部设置有用于穿过圆柱形通孔的立柱，所述立柱直径2.5-5.5mm，立柱长度3-8mm，所述圆柱形通孔直径为2.5-5.5mm；其特征在于，包括如下步骤：

S1、将所述针尖样品置于所述夹具器中，并固定于所述预倾支撑台上，将所述基台固定在聚焦离子束显微镜的样品台上，旋转聚焦离子束显微的样品台，使所述针尖样品面向聚焦离子束显微镜，将所述基台倾斜，使所述针尖样品与聚焦离子束显微镜的镓离子束电子光学镜筒平行，采用套刻工艺制备针尖样品；

S2、将所述基台调至水平，并旋转使所述针尖样品背向所述镓离子束电子光学镜筒，清除针尖样品底部两侧毛刺；

S3、保持所述基台不动，旋转所述容纳槽内的夹具器角度，直至清除所述针尖样品底部各个角度的毛刺，完成针尖样品的加工制备。

2.根据权利要求1所述的预倾斜样品夹具的样品加工方法，其特征在于，所述针尖样品与聚焦离子束显微镜垂直。

3.根据权利要求1所述的预倾斜样品夹具的样品加工方法，其特征在于，还包括至少一个紧固螺丝，所述第一分体和所述第二分体上位于所述通槽的两侧设置有螺纹孔，所述紧固螺丝穿过所述螺纹孔将所述第一分体和所述第二分体合拢固定。

4.根据权利要求1所述的预倾斜样品夹具的样品加工方法，其特征在于，所述夹具器是圆柱体，其半径为0.3-1.5mm，高度为5-20mm；所述第一分体上位于所述通槽的两侧分别设置有两个对准容纳槽，所述第二分体上对应于两个对准容纳槽的位置设置有两个对准凸起，通过对准凸起与所述对准容纳槽的配合实现所述第一分体和所述第二分体合拢固定的预定位；

所述容纳槽为圆柱形，半径为0.3-1.5mm，高度为2-8mm。

5.根据权利要求1所述的预倾斜样品夹具的样品加工方法，其特征在于，所述预倾支撑台设置有沿所述容纳槽周向均布的通孔，所述通孔用于将所述容纳槽与外部贯通，每个通孔内穿有顶丝，将所述夹具器固定。

6.根据权利要求1所述的预倾斜样品夹具的样品加工方法，其特征在于，所述针

尖样品的长度为10-30mm，直径为0.35-0.6mm。

7.根据权利要求1所述的预倾斜样品夹具的样品加工方法，其特征在于，所述预倾支撑台的底面长度为10-55mm，宽度为10-55mm。