[发明专利]一种探地雷达检定装置辅助标准组件的测量装置及测量方法

权利要求书

1.一种探地雷达检定装置辅助标准组件的测量装置，其特征在于：四个直线导轨组合成一个便携式可拆卸三维位移台，四个直线导轨分别为第一至第四直线导轨，第一直线导轨、第四直线导轨平行于Z轴，第二直线导轨平行于X轴，第三直线导轨平行于Y轴，激光干涉仪和线性干涉镜固定在第二直线导轨上，线性反射镜和反射镜固定装置固定在第三直线导轨上，其中激光干涉仪的入射光线与出射光线应平行于Y轴，且垂直于被测平板。

2.应用如权利要求1所述测量装置的方法，其特征在于：

(1)四个直线导轨组合成一个便携式可拆卸三维位移台，第一直线导轨、第四直线导轨平行于Z轴且在Z轴产生共同运动，第二直线导轨平行于X轴且可在X轴方向运动，第三直线导轨平行于Y轴且可在Y轴方向运动，其中第三直线导轨可随直线导轨沿X轴方向运动，第二直线导轨可随第一和第四直线导轨共同沿Z轴方向运动；激光干涉仪和线性干涉镜固定在第二直线导轨上可随第二直线导轨沿X轴方向运动，线性反射镜和反射镜固定装置固定在第三直线导轨上且可随第三直线导轨上在Y轴方向运动，其中激光干涉仪的入射光线与出射光线应平行于Y轴，且垂直于被测平板；

(2)激光干涉仪通过直线度干涉镜和直线度反射镜测得直线导轨在Y轴方向运动中的直线度误差，用于对最终测厚结果的误差补偿；

(3)通过一个固定位置对激光干涉仪初始标零，线性反射镜通过一个直线杆插入固定装置中，在测量过程中当直线杆接触到被测物体表面时直线导轨停止移动，在此过程中激光干涉仪、线性干涉镜、线性反射镜相对位置不变；

(4)将线性反射镜放置于被测平板的第一个被测点处，激光干涉仪通过三维位移台自动调节位置，直到干涉仪处于正常工作状态，找到初始测量位置，将反射镜放置回固定装置中；

(5)激光干涉仪会自动检测每个被测平板上的多个测点，得到每个平面的平面度，从而计算得到被测物体的平均厚度；测量结束后激光干涉仪会自动回到初始零点位置，以便于移动被测平板。