[发明专利]中灰镜及其制备方法、制备装置

说明书

本申请提供一种中灰镜及其制备方法、制备装置，涉及触摸屏技术领域，该方法包括在反应室内分别设置第一靶材、第二靶材和基片，并连续旋转基片；通过工作气体同时轰击第一靶材和第二靶材；基片的沉积面面向第一靶材，在基片的沉积面上形成非导电物材料；基片的沉积面面向第二靶材，在基片的沉积面上形成滤光材料；基片的沉积面上形成非导电物材料和滤光材料的混合材料薄膜层，得到中灰镜。通过连续旋转基片，非导电物材料和滤光材料会交替沉积于旋转的基片上，最终获得结构均一的混合材料薄膜层，得到中灰镜，兼具非导电特性和滤光特性，既有高电阻的特性，又保持了中灰镜的滤光特性。

技术领域

本申请涉及触摸屏技术领域，具体涉及一种中灰镜及其制备方法、制备装置。

背景技术

触摸屏显示器可以让使用者只要用手指轻轻地碰显示屏上的预设位置，例如触摸图符或文字，实现对主机操作，这样摆脱了键盘和鼠标操作，使人机交互更为直截了当，因此目前越来越多的电子设备配置了具有触摸功能的显示屏。但触摸屏要求其表面不能有导电介质的存在，否则会导致触摸屏失灵，因此限制了钛等金属薄膜在触摸屏等领域的应用。

中灰镜，也叫做ND滤镜，英文叫做ND Filter，它是相机镜头外加滤镜的一种，起到减弱光线进入镜头，降低感光度的作用。为了使触摸屏的显示效果更好，设计者考虑将中灰镜应用于触摸屏上，但现有的中灰镜在应用于触摸屏时，因现有中灰镜仅具有滤光的特性，不具备非导电特性，这使现有中灰镜应用于触摸屏时还存在两者之间无法结合的问题。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种中灰镜及其制备方法、制备装置，能够制备具有滤光特性和非导电特性的中灰镜。

本申请实施例的一方面，提供了一种中灰镜的制备方法，包括在反应室内分别设置第一靶材、第二靶材和基片，并连续旋转所述基片；通过工作气体同时轰击所述第一靶材和所述第二靶材；所述基片的沉积面面向第一靶材，在所述基片的沉积面上形成非导电物材料；所述基片的沉积面面向第二靶材，在所述基片的沉积面上形成滤光材料；所述基片的沉积面上形成所述非导电物材料和所述滤光材料的混合材料薄膜层，得到所述中灰镜。

可选地，所述在反应室内分别设置第一靶材、第二靶材和基片，并连续旋转所述基片包括：连续旋转所述基片，使所述基片的沉积面交替面向所述第一靶材和所述第二靶材。

可选地，所述通过工作气体同时轰击所述第一靶材和所述第二靶材包括：所述第一靶材处通入反应气体，通过所述工作气体的轰击，使所述第一靶材和所述反应气体反应溅射，在所述基片的沉积面上形成所述第一靶材和所述反应气体的反应物，所述反应物为所述非导电物材料；或者，所述工作气体的轰击所述第一靶材，以在所述基片的沉积面上形成第一靶材的材料，所述第一靶材的材料为所述非导电物材料。

可选地，所述通过工作气体同时轰击所述第一靶材和所述第二靶材包括：所述第二靶材处通入反应气体，通过所述工作气体的轰击，使所述第二靶材和所述反应气体反应溅射，在所述基片的沉积面上形成所述第二靶材和所述反应气体的反应物，所述反应物为所述滤光材料；或者，所述工作气体的轰击所述第二靶材，以在所述基片的沉积面上形成第二靶材的材料，所述第二靶材的材料为所述滤光材料。

可选地，所述第一靶材为硅靶，所述第二靶材为钛靶，所述工作气体为氩气，所述反应气体为氧气。

可选地，所述第一靶材和所述第二靶材分别电连接电源；所述在反应室内分别设置第一靶材、第二靶材和基片，并连续旋转所述基片包括：调节所述电源的功率，以改变所述第一靶材、所述第二靶材的功率。

本申请实施例的另一方面，提供了一种中灰镜，包括：基片和设置于所述基片上的混合材料薄膜层，所述混合材料薄膜层通过上述的中灰镜的制备方法溅射在所述基片上。