[发明专利]一种具有清洗装置的抛光机及其使用方法

权利要求书

1.一种具有清洗装置的抛光机，所述抛光机包括相互对应的且均可转动的上抛光盘和下抛光盘，其特征在于，所述清洗装置包括设置在所述抛光机上且为中空结构的清洗柱，沿所述清洗柱的周向上设置有喷头组件，所述喷头组件与所述清洗柱连通，所述喷头组件的喷射方向朝向待清洗的抛光盘。

2.根据权利要求1所述的具有清洗装置的抛光机，其特征在于，所述清洗柱设置在所述下抛光盘上，所述喷头组件的喷射方向朝向所述上抛光盘。

3.根据权利要求2所述的具有清洗装置的抛光机，其特征在于，每个所述喷头组件中的喷头沿所述清洗柱的轴向分布。

4.根据权利要求3所述的具有清洗装置的抛光机，其特征在于，

沿靠近所述下抛光盘的方向，所述喷头组件中的喷头依次为第一喷头、第二喷头、第三喷头和第四喷头；

在所述上抛光盘上沿其中心依次向外延伸设置有第一圆形区域、第二圆环区域、第三圆环区域和第四圆环区域，相邻区域之间有部分重叠。

所述第一喷头的喷射方向朝向所述上抛光盘的所述第三圆环区域；

所述第二喷头的喷射方向朝向所述上抛光盘的所述第二圆环区域；

所述第三喷头的喷射方向朝向所述上抛光盘的所述第一圆形区域；

所述第四喷头的喷射方向朝向所述上抛光盘的所述第四圆环区域。

5.根据权利要求4所述的具有清洗装置的抛光机，其特征在于，所述第一喷头与所述清洗柱的夹角为10°-80°；所述第二喷头与所述清洗柱的夹角为10-80°；所述第三喷头与所述清洗柱的夹角为10°-80°；所述第四喷头与所述清洗柱的夹角为10°-80°。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的具有清洗装置的抛光机，其特征在于，所述清洗柱远离所述下抛光盘的一端设置有阀门，所述阀门、所述抛光机分别与控制器电连接，所述控制器用于控制所述阀门的开启和关闭、以及所述抛光机的运行。

7.根据权利要求6所述的具有清洗装置的抛光机，其特征在于，每个所述上抛光盘的侧面套设有挡圈。

8.根据权利要求6所述的具有清洗装置的抛光机，其特征在于，所述清洗柱与所述下抛光盘的连接部位之间有空隙，用于清洗的流体充满所述清洗柱后再通过所述空隙流向所述下抛光盘。

9.一种具有清洗装置的抛光机的使用方法，其特征在于，所述方法包括：

将抛光机的上抛光盘上升至顶部；

控制器启动清洗程序通过清洗装置对抛光盘进行清洗；

清洗结束，抛光机和阀门自动关机。

10.根据权利要求9所述的具有清洗装置的抛光机的使用方法，其特征在于，所述清洗程序是预先设置在所述控制器中的程序；所述清洗程序包括第一清洗阶段、第二清洗阶段、第三清洗阶段和第四清洗阶段中的任意一个或者任意几个的组合、以及第五清洗阶段；

所述第一清洗阶段：开启阀门，上抛光盘顺时针旋转且转速为10rmp-20rmp，清洗时长1min-5min；

所述第二清洗阶段：开启阀门，上抛光盘顺时针旋转且转速为30rmp-40rmp，清洗时长1min-5min；

所述第三清洗阶段：开启阀门，上抛光盘逆时针旋转且转速为10rmp-20rmp，清洗时长1min-5min；

所述第四清洗阶段：开启阀门，上抛光盘逆时针旋转且转速为30rmp-40rmp，清洗时长1min-5min；

所述第五清洗阶段：关闭阀门，上抛光盘逆时针旋转且转速为5rmp-10rmp，清洗时长0.2min-1min。