[发明专利]一种聚硅氮烷连接碳化硅的方法在审
| 申请号： | 202110872945.2 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113429215A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 程艳玲;黄豪贤;杨盛凯;雷骏;习鑫鑫;郭伟明;林华泰 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C04B37/00 | 分类号： | C04B37/00 |
| 代理公司： | 佛山市君创知识产权代理事务所(普通合伙) 44675 | 代理人： | 杜鹏飞 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 聚硅氮烷 连接 碳化硅 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种聚硅氮烷连接碳化硅的方法，其特征在于包括以下操作步骤：
S1.将聚硅氮烷涂抹在清洗过的无压碳化硅基底上，然后将两块涂抹了聚硅氮烷的无压碳化硅基底以涂抹叠放在一起，得到样品；
S2.将样品放在石墨坩埚中，对样品施加0.1N轴向力，空气环境下，以1℃/min升温速率，加热至140℃保温16-28h，进行交联固化；
S3.将经过步骤S2交联固化后的样品置于管式炉中，氮气气氛下，对样品施加0.1N轴向力，以速率为1℃/min升温速率升温至240℃，保温1h，然后以1℃/min升温速率升温至500℃，保温1h，最后以1℃/min升温速率升温至1300℃，并保温2h进行高温烧结。
2.根据权利要求1所述的一种聚硅氮烷连接碳化硅的方法，其特征在于：步骤S3中所述氮气气氛的流速≥0.12L/min。
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