[发明专利]含氟光致产酸剂及其制备方法与应用在审

专利信息
申请号: 202110872948.6 申请日: 2021-07-30
公开(公告)号: CN113548988A 公开(公告)日: 2021-10-26
发明(设计)人: 董其宝;符勇 申请(专利权)人: 安徽庆润新材料技术有限公司
主分类号: C07C309/42 分类号: C07C309/42;C07C303/32;C07C381/12;C08F220/18;C08F220/38;C08F220/32;C08F212/14;G03F7/004
代理公司: 合肥市浩智运专利代理事务所(普通合伙) 34124 代理人: 缪璐欢
地址: 230088 安徽省合肥市高新区望江西路50*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 含氟光致产酸剂 及其 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种含氟光致产酸剂,其特征在于:所述含氟光致产酸剂包括结构式E、结构式F所示的化合物中的一种或两种,或所述含氟光致产酸剂的结构式为所述结构式E或结构式F如下:

2.一种制备如权利要求1所述的含氟光致产酸剂的方法,其特征在于:包括以下步骤:

(1)将氟代苯酚滴加到发烟硫酸中,搅拌后倒入冰盐水,然后与甲基丙烯酸在介质三氟乙酸和三氟乙酸酐下反应,获得含氟丙烯酸酯磺酸盐;所述氟代苯酚包括2,3,5,6-四氟苯酚或三氟甲基苯酚;

(2)将获得的含氟丙烯酸酯磺酸盐置于三苯基氯化硫水溶液室温过夜,即获得光致产酸剂。

3.根据权利要求2所述的含氟光致产酸剂的制备方法,其特征在于:所述三苯基氯化硫水溶液的质量浓度为50wt%。

4.一种光敏树脂,其特征在于:包括权利要求1所述的含氟光致产酸剂。

5.根据权利要求4所述的光敏树脂,其特征在于:所述光敏树脂主要由以下重量百分比的原料制成:

6.根据权利要求5所述的光敏树脂,其特征在于:所述引发剂为偶氮二异丁氰。

7.根据权利要求5所述的光敏树脂,其特征在于:所述溶剂包括四氢呋喃和乙腈,所述四氢呋喃和乙腈的体积比为1:1。

8.一种制备如权利要求4-7中任一项所述的光敏树脂的方法,其特征在于:将含氟光致产酸剂与单体共聚和,生成光敏树脂。

9.根据权利要求8所述的光敏树脂的制备方法,其特征在于:将4-羟基苯乙烯、甲基丙烯酸2-氧代四氢呋喃-3-基酯、2-噻吩甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸2-乙基-2-金刚烷基酯、含氟光致产酸剂和引发剂溶解在溶剂中,反应后,往溶液中加入二乙基醚或石油醚,沉淀过滤,将产物真空干燥,将产物溶解于四氢呋喃中,用石油醚沉淀后,真空干燥,即制得光敏树脂。

10.根据权利要求8所述的光敏树脂的制备方法,其特征在于:所述反应的温度为65℃,反应时间为24h。

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