[发明专利]一种基于高温下金属铌耐蚀性用保护膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110873634.8 申请日: 2021-07-30
公开(公告)号: CN113718193B 公开(公告)日: 2022-05-20
发明(设计)人: 马胜强;付沙沙;邢建东;郭鹏佳;吕萍 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: C23C8/42 分类号: C23C8/42;C22C12/00
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 高博
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 高温 金属 铌耐蚀性用 保护膜 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种基于高温下金属铌耐蚀性用保护膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1、对铌材料依次进行真空熔炼、轧制和退火处理,然后切割成实验样品;

S2、将铅铋合金熔化得到液态铅铋;

S3、将步骤S1处理后的实验样品放入步骤S2的液态铅铋中并固定,实验样品中的Nb与液态铅铋中溶解的氧发生界面反应和扩散反应,首先生成一层NbO表面膜;NbO表面膜进一步与溶解在液态铅铋中的氧气反应再生成一层NbO2保护膜;

S4、取出实验样品,冷却后得到具有保护膜的金属铌。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S2中,熔化温度为125~200℃,保温时间为30~60min,使铅铋合金彻底熔化。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S3中,将实验样品放入液态铅铋中,控制温度为400~600℃,氧浓度为饱和状态,时间为20~60h。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,最终形成的高温下金属铌耐蚀性用保护膜的厚度为2~10μm。

5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S3中,内层的NbO表面膜与基体Nb界面成锯齿状分布结合,晶粒为纳米晶。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,内层的NbO表面膜的厚度为300~600nm。

7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S3中,外层的NbO2保护膜为微米级的柱状致密晶。

8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,外层的NbO2保护膜的厚度为2~10μm。

9.根据权利要求1所述的方法制备的基于高温下金属铌耐蚀性用保护膜。

10.根据权利要求9所述的基于高温下金属铌耐蚀性用保护膜,其特征在于,基于高温下金属铌耐蚀性用保护膜的膜熔点大于1900℃。

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