[发明专利]一种基于高温下金属铌耐蚀性用保护膜及其制备方法有效
申请号: | 202110873634.8 | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN113718193B | 公开(公告)日: | 2022-05-20 |
发明(设计)人: | 马胜强;付沙沙;邢建东;郭鹏佳;吕萍 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | C23C8/42 | 分类号: | C23C8/42;C22C12/00 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 高博 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 高温 金属 铌耐蚀性用 保护膜 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于高温下金属铌耐蚀性用保护膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、对铌材料依次进行真空熔炼、轧制和退火处理,然后切割成实验样品;
S2、将铅铋合金熔化得到液态铅铋;
S3、将步骤S1处理后的实验样品放入步骤S2的液态铅铋中并固定,实验样品中的Nb与液态铅铋中溶解的氧发生界面反应和扩散反应,首先生成一层NbO表面膜;NbO表面膜进一步与溶解在液态铅铋中的氧气反应再生成一层NbO2保护膜;
S4、取出实验样品,冷却后得到具有保护膜的金属铌。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S2中,熔化温度为125~200℃,保温时间为30~60min,使铅铋合金彻底熔化。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S3中,将实验样品放入液态铅铋中,控制温度为400~600℃,氧浓度为饱和状态,时间为20~60h。
4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,最终形成的高温下金属铌耐蚀性用保护膜的厚度为2~10μm。
5.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S3中,内层的NbO表面膜与基体Nb界面成锯齿状分布结合,晶粒为纳米晶。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,内层的NbO表面膜的厚度为300~600nm。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,步骤S3中,外层的NbO2保护膜为微米级的柱状致密晶。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,外层的NbO2保护膜的厚度为2~10μm。
9.根据权利要求1所述的方法制备的基于高温下金属铌耐蚀性用保护膜。
10.根据权利要求9所述的基于高温下金属铌耐蚀性用保护膜,其特征在于,基于高温下金属铌耐蚀性用保护膜的膜熔点大于1900℃。
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