[发明专利]低温溶铜灌在审
申请号: | 202110873761.8 | 申请日: | 2021-07-30 |
公开(公告)号: | CN113477197A | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 王海军;张志;王双陆;王朋举 | 申请(专利权)人: | 江苏铭丰电子材料科技有限公司 |
主分类号: | B01J19/00 | 分类号: | B01J19/00;B01J4/00;B01D53/18;C01G3/10;C25D1/04 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人: | 张佳文 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 低温 溶铜灌 | ||
1.一种低温溶铜灌,其特征是,包括
罐体,罐体底部侧壁开设进气口以及排液口,所述罐体上部侧壁开设抽风口,所述进气口与生箔机的酸雾出口形成管道连接;
盖板组件,设置于罐体上端的罐口,所述盖板组件适于控制罐口的启闭;
喷淋装置,所述喷淋装置的各个喷头安装在盖板组件上,所述喷头适于向罐体内喷淋硫酸溶液。
2.根据权利要求1所述的低温溶铜灌,其特征是,
所述盖板组件包括中间盖、左盖以及右盖;
所述中间盖在罐口中部做固定设置,所述中间盖将罐口分隔为左罐口和右罐口,所述左盖与中间盖左侧形成转动连接,所述左盖适于盖合左罐口,所述右盖与中间盖右侧形成转动连接,所述右盖适于盖合右罐口。
3.根据权利要求2所述的低温溶铜灌,其特征是,
所述喷淋装置包括喷淋主管、左喷淋支管、右喷淋支管以及多个喷头;
所述左盖和右盖内均形成空心储水腔,各个喷头分别安装在左盖和右盖的下表面,并分别与左右两个空心储水腔连通;
所述左喷淋支管的进水管与喷淋主管连接,所述左喷淋支管的出水端与左盖的空心储水腔连接;
所述右喷淋支管的进水管与喷淋主管连接,所述右喷淋支管的出水端与右盖的空心储水腔连接。
4.根据权利要求3所述的低温溶铜灌,其特征是,
所述中间盖内形成空心储水腔,所述喷淋主管出水端连接中间支管,所述中间支管与中间盖的空心储水腔连接,所述中间盖下表面设置多个喷头。
5.根据权利要求4所述的低温溶铜灌,其特征是,
所述喷淋主管上设置主阀门,所述左喷淋支管上设置左阀门,所述右喷淋支管上设置右阀门。
6.根据权利要求2所述的低温溶铜灌,其特征是,
所述中间盖上设置翻盖机构,所述翻盖机构分别与两侧的左盖以及右盖连接、以控制左罐口和右罐口启闭。
7.根据权利要求6所述的低温溶铜灌,其特征是,
所述翻盖机构包括电机、左链条以及右链条;
所述左链条一端与左盖固定连接,所述左链条另一端与电机转轴固定连接;
所述右链条一端与右盖固定连接,所述右链条另一端与电机转轴固定连接。
8.根据权利要求1所述的低温溶铜灌,其特征是,
所述排液口与污液罐形成管道连接。
9.根据权利要求1所述的低温溶铜灌,其特征是,
所述抽风口与酸雾净化塔形成管道连接。
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