[发明专利]一种碲锌镉靶材的制备方法在审
| 申请号： | 202110874417.0 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113526955A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 文崇斌;王英洁;朱刘;童培云 | 申请（专利权）人： | 广东先导稀材股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/515 | 分类号： | C04B35/515;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 纪志超 |
| 地址： | 511500 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碲锌镉靶材 制备 方法 | ||
1.一种碲锌镉靶材的制备方法，包括：
将碲粉、锌粉和镉粉混合，得到混合粉体；
将所述混合粉体进行真空热压烧结，得到碲锌镉靶材。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述碲粉、镉粉和锌粉的摩尔比为1：1：(0.03～0.06)。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述碲粉的粒度小于200微米。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述锌粉的粒度小于200微米。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述镉粉的粒度小于200微米。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述真空热压烧结之前还包括：
将所述混合粉体放入模具中再进行真空热压烧结。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述真空热压烧结的方法包括：
在真空环境下以第一速度升温至第一温度保温第一时间，然后以第二速度升温至第二温度保温第二时间；
所述第一速度为1～3℃/min；所述第一温度为350～450℃；所述第一时间为1～3小时；
所述第二速度为5～10℃/min；所述第二温度为650～750℃；所述第二时间为1.5～2小时。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述真空环境的真空度＜10Pa。
9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述真空热压烧结过程中的加压方法包括：
当温度达到第二温度保温第三时间后开始加压并保压；
所述第三时间为15～20min。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述加压的压力为35～55MPa；
所述保压的时间为30～60min。
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