[发明专利]具有系绳支撑的隔膜的横向激励的薄膜体声波谐振器

权利要求书

1.一种声波谐振器器件，其特征在于，包括：

一基板；

一压电板，所述压电板的第一部分附接到所述基板，所述压电板的第二部分形成悬挂在所述基板空腔上方的隔膜；

一叉指换能器(IDT)，在所述压电板的表面上形成，IDT包括设置在第一部分上的第一和第二母线以及设置在所述隔膜上的交错IDT指状物；和

多个系绳，将所述隔膜支撑在所述空腔上方，每个系绳在交错的IDT指状物中的对应一个指状物与所述第一和第二母线中的一个母线之间提供电连接。

2.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，

所述第一母线和所述第二母线设置在所述空腔的相对侧。

3.根据权利要求2所述的器件，其特征在于，

交错的IDT指状物与所述第一母线和所述第二母线交替连接。

4.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，

所述交错的IDT指状物包括第一导体层，并且

每个系绳包括所述第一导体层和连接所述第一部分和所述第二部分的所述压电板的相应部分。

5.根据权利要求4所述的器件，其特征在于，

所述第一和第二母线中的每一个包括所述第一导体层级和第二所述导体层级。

6.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，

每个系绳的一部分与对应的交错的IDT指状物的长方向形成斜角。

7.根据权利要求6所述的器件，其特征在于，

斜角大于等于30度且小于等于60度。

8.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，

每个系绳的至少一部分是弯曲的。

9.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，

每个系绳都是连续弯曲的。

10.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，每个系绳包括：

第一段，从所述第一母线或所述第二母线延伸；

第三段，从与相应的IDT指状物共线的隔膜延伸；和

第二段，连接所述第一段和所述第三段，所述第二段与对应的IDT指状物的长方向形成斜角。

11.根据权利要求1所述的器件，其特征在于，

每个系绳的宽度大于对应的IDT指状物的宽度。

12.根据权利要求11所述的器件，其特征在于，

每条系绳的宽度为IDT指状物间距的二分之一。

13.一种声波谐振器器件，其特征在于，包括：

一压电板，附着在所述基板上，所述压电板的一部分形成悬挂在所述基板空腔上方的隔膜；

一叉指换能器(IDT)，位于所述压电板上，IDT包括布置在所述隔膜上的交错IDT指状物和未设置在所述隔膜上的所述第一母线和所述第二母线；和

多个系绳，将所述隔膜支撑在所述空腔上方，每个系绳通过跨越所述隔膜和所述压电板之间的开放空间来电连接交错的IDT指状物中的对应一个IDT指状物与第一和第二母线中的一个母线。

14.根据权利要求13所述的器件，其特征在于，

所述第一母线和所述第二母线设置在所述空腔的相对侧。

15.根据权利要求14所述的器件，其特征在于，

所述交错的IDT指状物与所述第一母线或所述第二母线交替连接。

16.根据权利要求13所述的器件，其特征在于，

所述交错的IDT指状物包括第一导体层级，并且

每个系绳包括所述第一导体层级和所述压电板的对应部分。