[发明专利]条形位移码、条形位移码尺和位移检测装置

权利要求书

1.一种条形位移码，用于位移检测，其特征在于，包括位置条和补偿条，所述位置条与所述补偿条成θ角，10°θ90°，所述位置条与位移检测方向垂直，所述补偿条用作所述位置条的补偿位置标记，标记原理为：在位移测量范围内，图像传感器的扫描线与所述位置条的理想位置条成像中心线交于A1、A2、A3、A4、…、An多个交点，与所述位置条的位置条成像中心线对应交于B1、B2、B3、B4、…、Bn多个交点，与所述补偿条的补偿条成像中心线对应交于C1、C2、C3、C4、…、Cn多个交点，所述理想位置条成像中心线为直线并且与位移测量方向垂直，则A1B1、A2B2、A3B3、A4B4、…、AnBn为位置条补偿量，B1C1、B2C2、B3C3、B4C4、…、BnCn为对应所述位置条补偿量的所述补偿位置标记；将所述位置条补偿量和所述补偿位置标记一一对应地存储起来，用于测量补偿；

位移检测时，以检测到的所述补偿位置标记为索引，从存储装置读取所述位置条补偿量，用于所述位置条对应的毛边和扭曲补偿。

2.根据权利要求1所述的条形位移码，其特征在于，还包括数字条，用于表达所述条形位移码的序号，所述数字条与所述位置条平行。

3.一种条形位移码尺，包括尺面，其特征在于，在所述尺面上沿位移检测方向设有权利要求1或权利要求2所述的条形位移码。

4.根据权利要求3所述的条形位移码尺，其特征在于，所述尺面为平面。

5.根据权利要求3所述的条形位移码尺，其特征在于，所述尺面为圆柱面。

6.根据权利要求5所述的条形位移码尺，其特征在于，所述位置条沿所述圆柱面绕成圆环，该圆环中心线的横截面与所述圆柱面的轴线垂直；所述补偿条沿所述圆柱面螺旋一周。

7.一种位移检测装置，其特征在于，包括权利要求3至6任一项所述的条形位移码尺。