[发明专利]杂散光吸收装置在审
申请号: | 202110879429.2 | 申请日: | 2021-08-02 |
公开(公告)号: | CN113458626A | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 卢琳;王林涛 | 申请(专利权)人: | 上海波刺自动化科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/70 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 杨雪 |
地址: | 200241 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 散光 吸收 装置 | ||
1.一种杂散光吸收装置,其特征在于,包括:
固定座(1),具有沿轴向延伸的内腔,所述内腔的顶端设有入光孔;
杂散光吸收单元(2),同轴设置在所述内腔中,所述杂散光吸收单元(2)设有沿所述轴向延伸的吸收腔(20);和
推动单元(3),驱动所述杂散光吸收单元(2)沿所述轴向在第一位置和第二位置之间运动,其中:
所述杂散光吸收单元(2)在所述第一位置时,所述吸收腔(20)的第一端与外设的光源(4)之间形成高杂散光吸收率状态下最小吸收角度,所述吸收腔(20)的第二端与所述光源(4)之间形成高杂散光吸收率状态下最大吸收角度;
所述杂散光吸收单元(2)在所述第二位置时,所述吸收腔(20)的第一端与所述光源(4)之间形成低杂散光吸收率状态下最小吸收角度,所述吸收腔(20)的第二端与所述光源(4)之间形成低杂散光吸收率状态下最大吸收角度。
2.根据权利要求1所述的杂散光吸收装置,其特征在于,所述固定座(1)内设有冷却单元(5),所述杂散光吸收单元(2)设置在所述固定座(1)中以进行热交换;
所述推动单元(3)连接所述冷却单元(5)。
3.根据权利要求2所述的杂散光吸收装置,其特征在于,所述杂散光吸收单元(2)的外壁沿周向设有第一弧面(21)、第二弧面(22)和过渡面(23),所述第一弧面(21)的半径大于所述第二弧面(22)的半径,所述过渡面(23)设置在所述第一弧面(21)和所述第二弧面(22)之间。
4.根据权利要求3所述的杂散光吸收装置,其特征在于,所述冷却单元(5)设有圆柱形的冷却内壁(50),所述第一弧面(21)与所述冷却内壁(50)抵接,所述第二弧面(22)和所述过渡面(23)共同与所述冷却内壁(50)间隔布置并形成C型的流道。
5.根据权利要求4所述的杂散光吸收装置,其特征在于,所述过渡面(23)与所述第二弧面(22)光滑过渡,且所述过渡面(23)所在弧面的弧心位于所述杂散光吸收单元(2)的外部。
6.根据权利要求4所述的杂散光吸收装置,其特征在于,所述杂散光吸收单元(2)的轴向两端分别设有第一台阶面(211)和第二台阶面(212);
所述冷却内壁(50)的上端设有与所述第一台阶面(211)配合的第三台阶面,所述冷却内壁(50)的下端设有与所述第二台阶面(212)配合的第四台阶面。
7.根据权利要求6所述的杂散光吸收装置,其特征在于,所述第一台阶面(211)与所述第三台阶面以及所述第二台阶面(212)与所述第四台阶面之间均设有密封圈(6)。
8.根据权利要求2所述的杂散光吸收装置,其特征在于,所述冷却单元(5)与所述固定座(1)之间设有轴套(7)。
9.根据权利要求8所述的杂散光吸收装置,其特征在于,所述冷却单元(5)的上下两端分别设有轴套台阶,每个所述轴套台阶上设有一个所述轴套(7),且位于上端的所述轴套(7)凸出所述冷却单元(5)的上表面,位于下端的所述轴套(7)凸出所述冷却单元(5)的下表面,其中,所述轴套(7)与所述固定座(1)的底端平齐时为第一位置,所述轴套(7)抵接所述固定座(1)的顶端内表面时为第二位置。
10.根据权利要求9所述的杂散光吸收装置,其特征在于,所述固定座(1)的顶端内表面设有用于配合所述轴套(7)的环形槽(10)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海波刺自动化科技有限公司,未经上海波刺自动化科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110879429.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种光刻胶的清洗方法
- 下一篇:一种挂具行程调节装置及电镀线