[发明专利]杂散光测量装置及方法

权利要求书

1.一种杂散光测量装置，其特征在于，包括：

激光器，用于输出激光；

分光镜，设置在所述激光器的激光光路；

准直透镜，设置在所述分光镜的透射光方向上；

声光移频单元，用于对经所述准直透镜的准直光进行移频；

收集透镜，设置于所述声光移频单元与待测物之间，用于聚焦经所述声光移频单元的移频光，还用于收集所述待测物表面的杂散光；

所述待测物与水平面之间的角度为设定角度，以使所述待测物表面的反射光不经过所述收集透镜；以及

信号解调处理器，设置在所述分光镜的反射光方向上，被收集的所述杂散光经所述声光移频单元、所述准直透镜和所述分光镜，回到所述激光器的激光腔内，与腔内激光发生自混合干涉，混合干涉后的干涉光经所述分光镜进入所述信号解调处理器内，通过检测所述干涉光的光强以检测所述待测物表面的杂散光水平。

2.根据权利要求1所述的杂散光测量装置，其特征在于，所述收集透镜与所述待测物之间的距离为设定距离，以使所述收集透镜的焦点聚焦到所述待测物表面。

3.根据权利要求1所述的杂散光测量装置，其特征在于，所述声光移频单元包括第一声光移频器和第二声光移频器，用于将经准直透镜的准直光差分移频。

4.根据权利要求1所述的杂散光测量装置，其特征在于，所述信号解调处理器包括：

光电探测器，设置在所述分光镜的反射光方向上，探测带有测物表面杂散光水平的信息的光信号，并将其转换为电信号；以及

信号处理单元，与所述光电探测器电连接，用于对所述电信号进行解调，以检测所述待测物表面的杂散光水平。

5.根据权利要求1所述的杂散光测量装置，其特征在于，所述激光器为固体激光器、半导体激光器或者光纤激光器。

6.根据权利要求5所述的杂散光测量装置，其特征在于，所述固体激光器输出的激光为线偏振光。

7.根据权利要求5所述的杂散光测量装置，其特征在于，所述固体激光器的模式为基横模和单纵模。

8.一种杂散光测量方法，其特征在于，包括：

利用激光器输出激光；

输出后的激光经分光镜和准直透镜进入声光移频单元进行移频；

移频后的移频光经收集透镜聚焦到待测物表面上；

利用所述收集透镜收集所述待测物表面的杂散光；

调整所述待测物与水平面之间的角度为设定角度，以使所述待测物表面的反射光不经过所述收集透镜；

被收集的所述杂散光经所述声光移频单元、所述准直透镜和所述分光镜，回到所述激光器的激光腔内，与腔内激光发生自混合干涉；

混合干涉后的干涉光经所述分光镜进入信号解调处理器内，通过检测所述干涉光的光强以检测所述待测物表面的杂散光水平。

9.根据权利要求8所述的杂散光测量方法，其特征在于，所述移频后的移频光经收集透镜聚焦到待测物表面上的步骤包括：

调整所述收集透镜与所述待测物之间的距离为设定距离，以使所述收集透镜的焦点聚焦到所述待测物表面。

10.根据权利要求8所述的杂散光测量方法，其特征在于，所述混合干涉后的干涉光经所述分光镜进入信号解调处理器内，以检测所述待测物表面的杂散光水平的步骤包括：

利用光电探测器探测带有测物表面杂散光水平的信息的光信号，并将其转换为电信号；

利用信号处理单元对所述电信号进行解调，以检测所述待测物表面的杂散光水平。