[发明专利]正型感光性树脂组成物、正型感光性干薄膜及其制造方法、图案形成方法

权利要求书

1.一种正型感光性树脂组成物，含有：

(A)碱可溶性树脂，含有选自聚酰亚胺结构、聚酰胺结构、聚苯并噁唑结构、聚酰胺酰亚胺结构、它们的前驱体结构中的至少1种以上的结构；

(B)交联性高分子化合物，含有下列通式(1)表示的结构单元，且具有会与该(A)成分交联的基团；及

(C)感光剂，是因光而产生酸且对于碱水溶液的溶解速度增大的感光剂，为具有醌二叠氮化物结构的化合物；

式中，R¹表示氢原子或甲基，R²为(n+1)价的碳数1～15的直链状、分支状或环状的脂肪族饱和烃基、碳数6～15的芳香族烃基、苄基、或萘甲基，该脂肪族饱和烃基的碳原子亦可置换为氧原子；n为1～5的整数；X₁各自独立地为-C(＝O)-O-、-C(＝O)-NH-、或-C(＝O)-N(R³OH)-；R³为2价的碳数1～12的直链状、分支状或环状的脂肪族饱和烃基、碳数6～12的芳香族烃基，该脂肪族饱和烃基的碳原子亦可置换为氧原子；p为0或1。

2.根据权利要求1所述的正型感光性树脂组成物，其中，该(B)成分是交联性高分子化合物且含有下列通式(2)表示的结构单元并含有具有会与该(A)成分交联的基团的下列通式(3)表示的结构单元；

式中，R⁴表示氢原子或甲基，X₂各自独立地为-C(＝O)-O-、-C(＝O)-NH-、或-C(＝O)-N(R⁵OH)-；R⁵为2价的碳数1～12的直链状、分支状或环状的脂肪族饱和烃基、碳数6～12的芳香族烃基，该脂肪族饱和烃基的碳原子亦可置换为氧原子；p为0或1；

式中，R⁶表示氢原子或甲基，R⁷表示噁唑啉基、异氰酸酯基、封端异氰酸酯基、氧杂环丁烷基、环氧基，X₃为-C(＝O)-O-、或亚苯基或亚萘基；p为0或1。

3.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组成物，其中，该(B)成分是含有下列通式(2)及下列通式(4)表示的结构单元的交联性高分子化合物；

式中，R⁸表示氢原子或甲基，X₄各自独立地为-C(＝O)-O-、或亚苯基或亚萘基；R⁹为亦可含有羟基、酯基、醚基、芳香族烃的碳数1～15的直链状、分支状或环状的亚烷基，R¹⁰为氢原子、碳数1～6的直链状、分支状或环状的烷基，或亦可与R⁹键结而形成环；R¹¹为氢原子、或碳数1～6的直链状、分支状或环状的烷基，R¹²为氢原子、或碳数1～6的直链状的烷基，亦可与R⁹键结而形成环；m为0或1；p为0或1；0b21.0、0b41.0、0b2+b4≤1.0；R⁴表示氢原子或甲基，X₂各自独立地为-C(＝O)-O-、-C(＝O)-NH-、或-C(＝O)-N(R⁵OH)-；R⁵为2价的碳数1～12的直链状、分支状或环状的脂肪族饱和烃基、碳数6～12的芳香族烃基，该脂肪族饱和烃基的碳原子亦可置换为氧原子。

4.根据权利要求1或2所述的正型感光性树脂组成物，更含有(D)热交联剂。

5.根据权利要求4所述的正型感光性树脂组成物，其中，该(D)成分包含选自经利用甲醛或甲醛-醇进行改性的胺基缩合物、1分子中平均具有2个以上的羟甲基或烷氧基羟甲基的苯酚化合物、多元苯酚的羟基的氢原子取代成环氧丙基而得的化合物、多元苯酚的羟基的氢原子取代成下式(D-1)表示的取代基而得的化合物、及含有2个以上的下式(D-2)表示的具有环氧丙基的氮原子的化合物中的1种或2种以上的交联剂；

式中，点线表示键结，R^c表示碳数1～6的直链状、分支状、或环状的烷基，v表示1或2。