[发明专利]一种简易测量超声波用超声波探头定位工具

说明书

本发明公开了一种简易测量超声波用超声波探头定位工具，包括横臂，横臂的一端设有安装板，横臂上设有第一移动机构和第一滑块，第一滑块上连接有竖臂，竖臂上设有第二移动机构和第二滑块，第二滑块的两侧端分别设有连接杆和连接件，连接杆和连接件上分别设有位移检测器和探头本体，该定位工具通过第一移动机构和第二移动机构配合来间接带动位移检测器和探头本体移动来实现多点检测功能，检测时，位移检测器能够实时检测探头本体的位移状况，进而提高多点检测时的取点及检测准确性，且在进行多点检测时无需重新拆装探头，十分方便。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，具体是一种简易测量超声波用超声波探头定位工具。

背景技术

硅片在加工过程中，洗净机设备非常重要，尤其是洗净机中的超声波对颗粒的去除效果显著，定期测试超声功率，有助于判断超声波是否出现异常，避免影响洗净机的清洗能力。

因为测试洗净机槽内超声波功率时，槽内部是有水存在的，且槽体底部的超声波振子是多排并列，使整个槽内都能产生超声作用，所以测试超声功率时不能够只对一个点进行测试，需要取多个测试点，全方位监控槽体内不同位置的超声功率，而现有的超声波探头夹持工具大多是定点夹持检测的，在进行对点检测时需要重新拆卸和安装定位工具，较为不便，且重新安装定位工具的过程中易产生误差，进而影响后续检测结果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种简易测量超声波用超声波探头定位工具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种简易测量超声波用超声波探头定位工具，包括：

横臂，横臂的一端设有安装板，横臂上设有第一滑块；

第一移动机构，设置在横臂上，用于驱动第一滑块在横臂上移动；

竖臂，连接设置在第一滑块上，竖臂上设有第二滑块，所述第二滑块的两侧分别设有连接杆和连接件，所述连接杆和连接件上分别设有位移检测器和探头本体；

及第二移动机构，设置在竖臂上，用于驱动第二滑块在竖臂上移动。

作为本发明进一步的方案：所述第一移动机构包括第一活动槽、第一电机和第一丝杆，所述第一活动槽设置在横臂上，所述第一电机和第一丝杆均设置在第一活动槽内，所述第一滑块内设有第一螺纹套，所述第一滑块通过第一螺纹套与第一丝杆相连。

作为本发明再进一步的方案：所述第二移动机构包括第二活动槽、第二电机和第二丝杆，所述第二机构采用和第一移动机构同样的设置方式设置在竖臂上，所述第二滑块通过其内部设置的第二螺纹套与第二丝杆相连。

作为本发明再进一步的方案：所述安装架还包括连接横板、连接竖板、弧形夹持板和夹持直板，所述连接横板的一端与第二滑块侧壁，连接横板的另一端与连接竖板一侧相连，所述连接竖板另一侧固定连接有弧形夹持板，所述弧形夹持板一侧通过弹簧连接有夹持直板，所述夹持直板靠近弧形夹持板的一侧设有夹持件。

作为本发明再进一步的方案：所述弧形夹持板和夹持直板通过螺栓螺母实现连接固定。

作为本发明再进一步的方案：所述弧形夹持板内围设有防滑软垫。

作为本发明再进一步的方案：所述安装板与横臂共同连接设置有加强板。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过设置横臂与竖臂配合来带动连接件进而带动探头本体移动来实现声波检测功能，在利用探头本体进行声波检测的过程中，通过位移检测器来实时检测探头本体的位移状况，并对探头本体的位移数据进行收集，进而提高多点检测的准确性，探头本体的位置移动通过第一移动机构和第二移动机构配合完成，自动化程度高，且移动精确度高，在进行多点检测时，无需重新拆装探头，十分方便。

附图说明