[发明专利]一种防止堵塞的蒸镀设备

权利要求书

1.一种防止堵塞的蒸镀设备，包括清洁上箱体机构(1)、蒸镀下箱体机构(2)、防堵接真空泵机构(3)，其特征在于：所述的清洁上箱体机构(1)与蒸镀下箱体机构(2)相连，蒸镀下箱体机构(2)与防堵接真空泵机构(3)相连；

所述的清洁上箱体机构(1)包括气缸架(1-1)、第一气缸(1-2)、第一气缸杆(1-3)、清洁剂箱体(1-4)、补充口(1-5)、上箱盖(1-6)、第二气缸杆(1-7)、第二气缸(1-8)、内活塞(1-9)、转轴(1-10)、压出通道(1-11)、叶片(1-12)、转动臂(1-13)、引导座(1-14)、弧形部(1-15)、压出单向阀(1-16)、清洁座(1-17)、基片卡紧座(1-18)、滑槽(1-19)、双向螺旋(1-20)、伺服电机(1-21)、驱动杆(1-22)，气缸架(1-1)与第一气缸(1-2)相连，第一气缸(1-2)与第一气缸杆(1-3)相连，第一气缸杆(1-3)与清洁剂箱体(1-4)滑动连接，清洁剂箱体(1-4)上端连接有气缸架(1-1)，清洁剂箱体(1-4)一侧设有补充口(1-5)，清洁剂箱体(1-4)与上箱盖(1-6)相连，上箱盖(1-6)与第二气缸杆(1-7)相连，第二气缸杆(1-7)与第二气缸(1-8)相连，内活塞(1-9)滑动连接在清洁剂箱体(1-4)内，内活塞(1-9)与第一气缸杆(1-3)相连，转轴(1-10)上设有转动臂(1-13)，转轴(1-10)和转动臂(1-13)内均设有压出通道(1-11)，压出通道(1-11)内设有压出单向阀(1-16)，转轴(1-10)深入清洁剂箱体(1-4)的部分设有叶片(1-12)，转轴(1-10)与上箱盖(1-6)转动连接，转动臂(1-13)上设有引导座(1-14)，引导座(1-14)上设有弧形部(1-15)，弧形部(1-15)设置在压出单向阀(1-16)的喷出口的正上方，转动臂(1-13)两端连接有清洁座(1-17)，基片卡紧座(1-18)滑动连接在滑槽(1-19)内，滑槽(1-19)设置在转动臂(1-13)的下端面上，双向螺旋(1-20)转动连接在转动臂(1-13)内，双向螺旋(1-20)与基片卡紧座(1-18)螺纹连接，双向螺旋(1-20)与伺服电机(1-21)相连，伺服电机(1-21)与转动臂(1-13)相连，两个驱动杆(1-22)对称连接在转动臂(1-13)的下端面上。

2.根据权利要求1所述的一种防止堵塞的蒸镀设备，其特征在于：所述的蒸镀下箱体机构(2)包括被动筒(2-1)、转动钳锅(2-2)、第一支撑座(2-3)、排出管(2-4)、带抽气管下箱体(2-5)、第三气缸(2-6)、第三气缸杆(2-7)、闸门(2-8)、配合槽(2-9)、联轴器(2-10)、驱动电机(2-11)、刮动座(2-12)，被动筒(2-1)与转动钳锅(2-2)相连，转动钳锅(2-2)与带抽气管下箱体(2-5)转动连接，带抽气管下箱体(2-5)下方连接有第一支撑座(2-3)，带抽气管下箱体(2-5)与排出管(2-4)相连且连通，第三气缸(2-6)与带抽气管下箱体(2-5)相连，第三气缸(2-6)与第三气缸杆(2-7)相连，第三气缸杆(2-7)与闸门(2-8)相连，闸门(2-8)与配合槽(2-9)滑动连接，配合槽(2-9)设置在带抽气管下箱体(2-5)上，联轴器(2-10)与驱动电机(2-11)相连，驱动电机(2-11)与带抽气管下箱体(2-5)相连，联轴器(2-10)与转动钳锅(2-2)相连，刮动座(2-12)与转动钳锅(2-2)相连，刮动座(2-12)与带抽气管下箱体(2-5)内壁相接触，第二气缸杆(1-7)与带抽气管下箱体(2-5)滑动连接，第二气缸(1-8)与带抽气管下箱体(2-5)相连，上箱盖(1-6)与带抽气管下箱体(2-5)相接触，驱动杆(1-22)与被动筒(2-1)滑动连接。