[发明专利]一种碳化硅籽晶贴片机及其使用方法

说明书

本发明公开了一种碳化硅籽晶贴片机及其使用方法，包括机架、位于所述机架上的加工台、位于所述加工台上的供料盒、位于所述加工台中心位置处的移载机械臂、用于晶片滴胶的滴胶组件、用于晶片烘烤的烘烤组件以及用于晶片贴片的贴料组件；所述移载机械臂能够实现晶片在供料盒、滴胶组件、烘烤组件以及贴料组件之间进行来回移载；所述滴胶组件包括安装架、容纳壳体、真空吸盘、驱动模组以及滴胶阀；所述烘烤组件包括烘烤罩体、烤盘以及顶柱；所述贴料组件包括贴料定心台、移载结构、贴料气缸以及升囊。本发明实现了对碳化硅籽晶的贴片操作，无需人工操作，极大地降低了工人的劳动强度，减少了人力的消耗，并且大大提高了贴片效率与贴片品质。

技术领域

本发明属于碳化硅籽晶贴片技术领域，尤其涉及一种碳化硅籽晶贴片机及其使用方法。

背景技术

碳化硅生长晶体，通常需要采用籽晶放置在生长晶体设备内部固定，实现对晶体生长的沉积结晶导向作用。

而对于碳化硅籽晶的贴片操作，传统采用的是手动作业方式，会由于环境因素导致气泡、杂质等问题产生，从而影响晶体的良品率，并且人工手动作业的方式效率低下，贴片品质较差，难以满足现代化高速生产的需求。

发明内容

本发明克服了现有技术的不足，提供一种碳化硅籽晶贴片机及其使用方法，采用自动作业方式进行贴片，在高洁净的设备内部环境下自动完成贴片操作，从而大概率降低因环境因素导致的气泡、杂质等问题，进而提高效率。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案为：一种碳化硅籽晶贴片机，包括机架、位于所述机架上的加工台、位于所述加工台上的供料盒、位于所述加工台中心位置处的移载机械臂、用于晶片滴胶的滴胶组件、用于晶片烘烤的烘烤组件以及用于晶片贴片的贴料组件；其中：

所述移载机械臂能够实现晶片在供料盒、滴胶组件、烘烤组件以及贴料组件之间进行来回移载；

所述滴胶组件包括安装架、位于所述安装架顶端的容纳壳体、位于所述容纳壳体内的真空吸盘、位于所述容纳壳体底部的驱动模组以及位于所述容纳壳体一侧的滴胶阀，所述真空吸盘对晶片吸附定位后，所述驱动模组驱动所述真空吸盘转动，所述滴胶阀对晶片表面进行滴胶；

所述烘烤组件包括烘烤罩体、位于所述烘烤罩体内的烤盘以及用于晶片支撑的顶柱，所述烘烤罩体表面设有料口，所述烤盘与晶片之间的间距可调，所述顶柱贯穿所述烤盘且与所述烤盘互不干涉；

所述贴料组件包括贴料定心台、用于晶片移载的移载结构、位于所述贴料定心台上方的贴料气缸以及位于所述贴料气缸活塞杆端的升囊，所述贴料定心台对石墨纸进行定心放置，所述升囊在所述贴料气缸驱动作用下将晶片贴附在石墨纸上。

优选的，所述移载机械臂包括移载架体、位于所述移载架体上的顶升电缸、位于所述顶升电缸顶端的旋转电缸、位于所述旋转电缸旋转端的伸缩电缸以及位于所述伸缩电缸驱动端的取料手臂，所述取料手臂对晶片进行取放。

优选的，所述取料手臂的取料端为双层结构，所述取料端为环状结构体。

优选的，所述驱动模组包括顶升气缸与位于所述顶升气缸活塞杆端的旋转电机，所述真空吸盘通过连接座与所述旋转电机的转轴连接。

优选的，所述滴胶阀通过安装座与所述加工台连接，所述安装座上设置有横向调节气缸与竖向调节气缸。

优选的，所述竖向调节气缸与所述横向调节气缸的活塞杆连接，所述滴胶阀通过连接块与所述竖向调节气缸的活塞杆连接。

优选的，所述烘烤组件还包括升降模组，所述顶柱通过安装块与所述升降模组连接，实现所述烤盘与晶片之间的间距调节。

优选的，所述移载结构包括直线模组、能够沿所述直线模组长度方向进行运动的升降气缸、位于所述升降气缸活塞杆端的旋转气缸以及位于所述旋转气缸旋转端的晶片吸盘，所述移载结构将晶片移至所述贴料定心台上。