[发明专利]一种金属微细结构的电化学高精度抛光方法

权利要求书

1.一种金属微细结构的电化学高精度抛光方法，其特征在于：包括以下步骤：

A、制备包裹有金属工件(1)待抛光结构面的固体电解质；

所述的固体电解质为琼脂糖凝胶(3)，琼脂糖凝胶(3)的制备方法为：按一定浓度配制琼脂糖水溶液，并将琼脂糖水溶液加热至90℃以上直至琼脂糖完全融解于水中，将加热后的琼脂糖水溶液和经过前处理的金属工件(1)置于模具中，琼脂糖水溶液应没过金属工件(1)的结构面一定高度，待琼脂糖水溶液在室温下完全冷却固化后，得到包裹金属工件(1)的琼脂糖凝胶(3)，然后将琼脂糖凝胶(3)从模具中取出；

B、将固体电解质包裹有金属工件(1)的一端朝上置于盛有抛光电解液(4)的电解池中，且金属工件(1)底面位于电解液液面之上；

C、将金属工件(1)底面连接导线，将金属工件(1)作为工作电极，对金属工件(1)在固体电解质包裹状态下进行电化学抛光加工；

D、将带有微细结构的金属工件(1)从固体电解质中取出，加工完毕。

2.根据权利要求1所述一种金属微细结构的电化学高精度抛光方法，其特征在于：步骤A所述一定浓度为：按质量比琼脂糖固体粉末:去离子水＝1:10～30。

3.根据权利要求1所述一种金属微细结构的电化学高精度抛光方法，其特征在于：步骤A所述加热包括恒温水浴锅沸水浴加热或微波炉加热；步骤A所述加热后的琼脂糖水溶液需按照加热前的质量将因水的蒸发损失的琼脂糖水溶液的质量用去离子水补齐；步骤A所述前处理为对金属工件(1)进行表面清洁，表面清洁方法包括超声清洗和稀酸除去氧化层。

4.根据权利要求1所述一种金属微细结构的电化学高精度抛光方法，其特征在于：步骤A所述模具为橡胶模具(2)，其大小和形状按照金属工件(1)的大小和形状进行选择。

5.根据权利要求1所述一种金属微细结构的电化学高精度抛光方法，其特征在于：步骤A所述一定高度为1～2cm。

6.根据权利要求1所述一种金属微细结构的电化学高精度抛光方法，其特征在于：步骤A所述冷却固化的时间为0.5～1h。

7.根据权利要求1所述一种金属微细结构的电化学高精度抛光方法，其特征在于：步骤B所述抛光电解液(4)按照金属工件(1)的材料进行选择，所述抛光电解液(4)测定的极化曲线有钝化区。

8.根据权利要求1所述一种金属微细结构的电化学高精度抛光方法，其特征在于：步骤C所述电化学抛光加工使用的电位为钝化电位。

9.根据权利要求1所述一种金属微细结构的电化学高精度抛光方法，其特征在于：步骤C所述电化学抛光加工时间为0.1～1h。

10.根据权利要求1所述一种金属微细结构的电化学高精度抛光方法，其特征在于：步骤A所述琼脂糖凝胶(3)用聚丙烯酰胺凝胶代替。