[发明专利]一种电涡流传感器组件及具有其的磁悬浮分子泵

说明书

本发明提供一种电涡流传感器组件及具有其的磁悬浮分子泵，属于磁悬浮设备技术领域，其中，电涡流传感器组件包括：安装座，具有中心通孔；电感探头，具有围绕所述中心通孔对称设置的多个，所述电感探头沿所述中心通孔的径向位置可调的连接在所述安装座上；本发明的电涡流传感器组件，电感探头在安装座上能够进行径向调整，从而便于根据需进行监测的轴径，进行精确调整电感探头的位置，提高电涡流传感器组件的精度，以及可适配的轴径的范围。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，具体涉及一种电涡流传感器组件及具有其的磁悬浮分子泵。

背景技术

电涡流式传感器由传感器激励导线和被测金属体组成。根据法拉第电磁感应定律，当传感器激励导线中通过以正弦交变电流时，导线周围将产生正弦交变磁场，使位于该磁场中的金属导体产生感应电流，该感应电流又产生新的交变磁场。新的交变磁场阻碍原磁场的变化，使得传感器导线的等效阻抗发生变化。

现有技术中，如中国专利文献CN208383054U公开了一种电涡流传感器组件，包括安装座和连接在安装座上的电感机构，所述安装座的中心具有圆形通孔，所述电感机构上缠绕电感导线，通过电感机构用于监测穿设于圆形通孔内的轴在四个位置的位移信号，从而监测轴的运转。

然而，上述方案中，电感机构和安装座之间采用焊接等固定方式连接，一方面不便于电感机构位置确定的精确性，另一方面，适于范围较窄，不能对不同规格的轴进行监测。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的电感机构安装位置不能精确掌控的缺陷，从而提供一种电涡流传感器组件及具有其的磁悬浮分子泵。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种电涡流传感器组件，包括：

安装座，具有中心通孔；

电感探头，具有围绕所述中心通孔对称设置的多个，所述电感探头沿所述中心通孔的径向位置可调的连接在所述安装座上。

可选地，所述安装座上具有用于插入所述电感探头的安装孔。

可选地，所述安装座的安装孔内具有用于卡接所述电感探头的抵接件。

可选地，所述抵接件通过螺纹结构连接在所述安装座上，所述抵接件的一端延伸至所述安装孔内，所述抵接件的另一端伸向所述安装座的外部。

可选地，所述抵接件的朝向所述安装座外部的一端具有用于与操作件配合的转动限位结构。

可选地，所述电感探头与所述安装座通过螺纹连接。

可选地，所述安装座为环形结构，所述电感探头为柱形结构，所述电感探头的尾部穿过所述安装座后与所述安装座的外部连通。

可选地，所述电感探头的头部缠绕有导线，所述导线从电感探头的内部延伸至电感探头的尾部，所述安装座的外壁上设有用于所述电感探头的导线进行走线的环形凹槽。

可选地，所述安装座的底端设有若干用于安装定位的缺口。

本发明还提供一种磁悬浮分子泵，包括：上述方案中任一项所述的电涡流传感器组件，所述电涡流传感器组件套设在磁悬浮分子泵的转轴上。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的电涡流传感器组件，电感探头在安装座上能够进行径向调整，从而便于根据需进行监测的轴径，进行精确调整电感探头的位置，提高电涡流传感器组件的精度，以及可适配的轴径的范围。

2.本发明提供的电涡流传感器组件，通过抵接件对电感探头的位置进行定位，从而提高电涡流传感器组件在运行时的稳定性。

3.本发明提供的磁悬浮分子泵，由于采用了上述方案中任一项所述的电涡流传感器组件，因此具有上述任一项所述的优点。