[发明专利]流量控制装置、流量控制方法和程序存储介质

权利要求书

1.一种流量控制装置，其特征在于包括：

第一阀，设置在流道上；

第二阀，在所述流道上设置在比所述第一阀更靠下游侧；

流体阻力，在所述流道上设置在所述第一阀与所述第二阀之间；

第一压力传感器，测量所述第一阀与所述流体阻力之间的第一容积内的压力；

第二压力传感器，测量所述流体阻力与所述第二阀之间的第二容积内的压力；

阻力流量计算器，根据所述第一压力传感器测量的第一压力以及所述第二压力传感器测量的第二压力，计算阻力流量，所述阻力流量是流过所述流体阻力的流体的流量；

第一阀流量换算器，根据所述第一压力从所述阻力流量换算第一阀流量，所述第一阀流量是通过所述第一阀的流体的流量；

第二阀流量换算器，根据所述第二压力从所述阻力流量换算第二阀流量，所述第二阀流量是通过所述第二阀的流体的流量；

第一阀控制器，以使第一设定流量与所述第一阀流量的偏差变小的方式控制所述第一阀；以及

第二阀控制器，以使第二设定流量与所述第二阀流量的偏差变小的方式控制所述第二阀。

2.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

所述第一阀流量换算器根据所述第一压力的时间微分值以及所述阻力流量计算所述第一阀流量。

3.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

所述第二阀流量换算器根据所述第二压力的时间微分值以及所述阻力流量计算所述第二阀流量。

4.根据权利要求3所述的流量控制装置，其特征在于，

当将所述阻力流量设为Q_FR、将所述第一阀流量设为Q_V1、将所述第二阀流量设为Q_V2、将所述第一压力设为p₁、将所述第二压力设为p₂、将第一换算系数设为A₁、将第二换算系数设为A₂时，

所述第一阀流量换算器根据Q_V1＝Q_FR+A₁×d(p₁)/dt计算所述第一阀流量，

所述第二阀流量换算器根据Q_V2＝Q_FR－A₂×d(p₂)/dt计算所述第二阀流量。

5.根据权利要求4所述的流量控制装置，其特征在于，

当将所述第一容积的大小设为VL₁、将所述第二容积的大小设为VL₂、将气体常数设为R、将温度设为T、将压缩率因子设为Z时，

A₁＝Z×VL₁/RT，A₂＝Z×VL₂/RT。

6.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，

所述第一设定流量以及所述第二设定流量被设定为相同的时间函数。

7.根据权利要求6所述的流量控制装置，其特征在于，

在所述第二阀控制器使所述第二阀全闭的状态下，

所述第一阀控制器以使所述第一压力与设定压力的偏差变小的方式控制所述第一阀的开度。

8.根据权利要求7所述的流量控制装置，其特征在于，

从由所述第二阀全闭的状态变成所述第二设定流量成为零以外的值的时点开始在规定期间内，

所述第一阀控制器以使所述第一设定流量与所述第一阀流量的偏差变小的方式控制所述第一阀的开度，

并且所述第二阀控制器以使所述第二设定流量与所述第二阀流量的偏差变小的方式控制所述第二阀的开度。