[发明专利]在运设备六氟化硫气体在线净化系统

权利要求书

1.一种在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，包括：

主控模块、以及通过管道连接的真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块；

所述真空处理模块用于对目标在运设备以及连接管道进行抽真空处理；所述第一净化模块用于对目标在运设备中的六氟化硫气体进行一级净化处理，并将一级净化处理后的六氟化硫气体传输至气体回收模块；所述气体回收模块用于对一级净化处理后的六氟化硫气体进行回收，并按照预设速率将回收后的六氟化硫气体传输至气体检测模块；所述气体检测模块用于对回收后的六氟化硫气体进行湿度和纯度检测，并将检测合格的六氟化硫气体回充至目标在运设备、或将检测不合格的六氟化硫气体传输至第二净化模块；所述第二净化模块用于对检测不合格的六氟化硫气体进行二级净化处理，并将二级净化处理后的六氟化硫气体重新传输至气体检测模块；

所述主控模块分别与真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块连接，用于控制真空处理模块、第一净化模块、气体回收模块、气体检测模块、第二净化模块的开启/关闭。

2.如权利要求1所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述真空处理模块包括通过管道依次连接的真空泵、电阻真空计、第一电磁阀、第二电磁阀；

所述真空处理模块第一端通过第一电磁阀与目标在运设备连接，所述真空处理模块的第二端通过第二电磁阀与第一净化模块连接；

所述主控模块与所述第一电磁阀、所述第二电磁阀连接，用于控制第一电磁阀和第二电磁阀的开启/关闭。

3.如权利要求1所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述第一净化模块包括通过管道依次连接的第一过滤装置、第三电磁阀、吸附装置、流量计、第二过滤装置；

所述第一过滤装置还与目标在运设备的出气口连接，所述第二过滤装置还与所述气体回收模块连接，所述第一过滤装置和所述第二过滤装置均用于对六氟化硫气体进行过滤处理，所述吸附装置用于吸附六氟化硫气体中的水分以及杂质气体，所述流量计用于检测管道中六氟化硫的流量；

所述主控模块分别与所述第三电磁阀、流量计连接，用于根据所述流量计的流量检测结果控制所述第三电磁阀的开启/关闭。

4.如权利要求1所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述气体回收模块包括通过管道依次连接的第四电磁阀、第一压力传感器、第一储气罐、第二压力传感器、第五电磁阀；

所述第四电磁阀还与所述第一净化模块连接，所述第五电磁阀还与所述气体检测模块连接；

所述第一压力传感器用于检测检测第一储气罐进气端的六氟化硫气体压力，所述第一压缩机用于所述第二压力传感器用于检测第一储气罐出气端的六氟化硫气体压力，所述第一储气罐用于储存一级净化处理后的经第一压缩机压缩后的六氟化硫气体；

所述第四电磁阀、第五电磁阀、第一压力传感器、第二压力传感器均与主控模块连接，所述主控模块用于根据第一压力传感器检测得到的压力值控制第四电磁阀的开启/关闭、根据第二压力传感器检测得到的压力值控制第五电磁阀的开启/关闭。

5.如权利要求3所述的在运设备六氟化硫气体在线净化系统，其特征在于，所述气体检测模块包括第七电磁阀、第八电磁阀、以及通过管道依次连接的第六电磁阀、第三压力传感器、湿度传感器、纯度检测仪；

所述第三压力传感器通过第六电磁阀与所述气体回收模块连接，用于检测当前管道内六氟化硫气体的压力，并将六氟化硫气体传输至湿度传感器；

所述湿度传感器用于对六氟化硫气体进行湿度检测，并将湿度检测后的六氟化硫气体传输至纯度检测仪；

所述纯度检测仪通过第七电磁阀与目标在运设备的充气口连接、通过第八电磁阀与第二净化模块连接，用于检测六氟化硫气体的纯度，并将纯度检测后的六氟化硫气体传输至目标在运设备或第二净化模块；

所述第三压力传感器、湿度传感器、纯度检测仪、第六电磁阀、第七电磁阀、第八电磁阀还与所述主控模块连接，所述主控模块还用于根据第三压力传感器检测得到的压力值控制第六电磁阀开启/关闭、用于根据湿度传感器的湿度检测结果和纯度检测仪的纯度检测结果控制第七电磁阀和第八电磁阀的开启/关闭。