[发明专利]一种压电MEMS扬声器在审
| 申请号： | 202110895037.5 | 申请日： | 2021-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN115706905A | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 李冠华;刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/02 | 分类号： | H04R19/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 mems 扬声器 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电MEMS扬声器，其特征在于，包括：
衬底，具有空腔；
振动支撑层，形成在所述衬底上方并且覆盖所述空腔；
第一电极层，形成在所述振动支撑层上方；
压电层，形成在所述第一电极层上方；
第二电极层，形成在所述压电层上方；
其中，第一凹槽从所述第二电极层的上表面延伸至所述振动支撑层的上表面并露出所述振动支撑层，露出的所述振动支撑层具有第二凹槽，所述第二凹槽从所述振动支撑层的上表面延伸至所述振动支撑层的下表面。
2.根据权利要求1所述的压电MEMS扬声器，其特征在于，从俯视角度看，所述第一凹槽呈环形，所述第一凹槽的投影区域在所述空腔的投影区域内。
3.根据权利要求1所述的压电MEMS扬声器，其特征在于，所述第二凹槽与所述空腔连通。
4.根据权利要求1所述的压电MEMS扬声器，其特征在于，所述第一凹槽将所述第一电极层、所述压电层和所述第二电极层分割成中心部分和边缘部分，露出的所述振动支撑层连接所述中心部分和所述边缘部分。
5.根据权利要求4所述的压电MEMS扬声器，其特征在于，所述压电MEMS扬声器还包括阻挡块，所述阻挡块形成在露出的所述振动支撑层的下方和/或上方，并且所述阻挡块形成在所述中心部分和所述边缘部分之间。
6.根据权利要求5所述的压电MEMS扬声器，其特征在于，所述阻挡块呈环形。
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