[发明专利]一种压电MEMS扬声器在审
| 申请号： | 202110895059.1 | 申请日： | 2021-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN115706906A | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 李冠华;刘端 | 申请（专利权）人： | 安徽奥飞声学科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/02 | 分类号： | H04R19/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新区习友路333*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 压电 mems 扬声器 | ||
1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：
衬底，包括经连杆连接的内环体和外环体，所述内环体和所述外环体之间具有第一空腔，所述内环体内具有第二空腔；
压电复合振动层，形成在所述衬底上方，包括形成在所述外环体上方的边缘部分和形成在所述内环体上方的中心部分，所述边缘部分和所述中心部分之间具有分割间隙。
2.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述连杆位于所述衬底的底部或中部。
3.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述分割间隙与所述第一空腔连通。
4.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述边缘部分的固定端连接在所述外环体上方，所述边缘部分的自由端悬置在所述第一空腔上方。
5.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述中心部分的外边缘连接固定于所述内环体上方。
6.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述压电复合振动层包括：
振动支撑层，形成在所述衬底上方；
第一电极层，形成在所述振动支撑层上方；
第一压电层，形成在所述第一电极层上方；
第二电极层，形成在所述第一压电层上方。
7.根据权利要求6所述的MEMS结构，其特征在于，所述中心部分的振动支撑层的区域面积大于所述第一电极层的区域面积，并且所述第一电极层、所述第一压电层和所述第二电极层的区域面积相等。
8.根据权利要求6所述的MEMS结构，其特征在于，所述压电复合振动层还包括：
第二压电层，形成在所述第二电极层上方；
第三电极层，形成在所述第二压电层上方。
9.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述分割间隙小于或等于5μm。
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