[发明专利]一种化学机械研磨头在审
| 申请号： | 202110895810.8 | 申请日： | 2020-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113561055A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 赣州市业润自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B55/03 |
| 代理公司： | 合肥左心专利代理事务所(普通合伙) 34152 | 代理人： | 周翠娟 |
| 地址： | 341000 江西省赣州*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 | ||
1.一种化学机械研磨头，包括研磨部(1)、连接部(2)、进出水部(3)和隔离管(4)，其特征在于：所述研磨部(1)呈圆台状，研磨部(1)上成型有上侧开口的凹止口(11)，凹止口(11)的底面上成型有涡旋槽道(12)，涡旋槽道(12)的底面中部固定有进水管(13)，进水管(13)的下侧成型有与其相通的成型在研磨部(1)内部的进水通道(14)，涡旋槽道(12)的底面外侧成型有多个与进水通道(14)相通的进水孔(15)；
所述连接部(2)成型有与凹止口(11)相配合的凸止口(21)，凸止口(21)插套并固定在凹止口(11)内，所述凹止口(21)的下底面压靠在涡旋槽道(12)的上端面上；所述凸止口(21)的中部成型有与涡旋槽道(12)相通的出水管(22)，出水管(22)与进水管(13)同轴心设置且位于进水管(13)的外侧；
所述隔离管(4)插套在出水管(22)和进水管(13)之间，隔离管(4)的下端固定在涡旋槽道(12)的底面上；
所述进出水部(3)成型有由下而上直径依次减小的四级台阶孔(31)，进出水部(3)的侧壁上成型有四级台阶孔(31)的第二级孔相通的出水接口(32)，进出水部(3)的上底面上成型有四级台阶孔(31)的第四级孔相通的进水接口(33)；所述出水管(22)的上端通过第一密封轴承(51)铰接在四级台阶孔(31)的第一级孔上，隔离管(4)的上端通过第二密封轴承(52)铰接在四级台阶孔(31)的第三级孔上；
所述连接部(2)上成型有一对对称设置的连接块(23)；
所述进水管(13)的上端外壁上套接有密封圈(53)，密封圈(53)压靠在隔离管(4)的上端内壁上。
2.根据权利要求1所述的一种化学机械研磨头，其特征在于：所述隔离管(4)的外壁和出水管(22)的内壁之间、隔离管(4)的内壁与进水管(13)的外壁之间都留有间隙。
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