[发明专利]一种可完全降解固体缓蚀剂的制备方法

权利要求书

1.一种可完全降解固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）将乳酸与催化剂混合均匀后投入到釜式反应器中，加热反应，得到乳酸低聚物；加热反应的具体过程为：在55~65 ℃、85~95Pa下减压脱水1~4 h，然后在85~95Pa、75~85 ℃反应1~4 h，然后在95~105 ℃下反应1-4 h，最后在115~125 ℃下反应1-4 h；

2）在85~95Pa、135-145 ℃下，向乳酸低聚物中加入乙二醇、己内酯、庚内酯、氨基酸与马来酸酐中的一种或多种，然后在155~165 ℃下反应1-4 h，再于175~185 ℃下反应1-4 h，得到乳酸共聚物；

3）向乳酸共聚物中加入缓蚀剂，85~95Pa、135-145 ℃下，搅拌1-4 h，然后加入助剂，在85~95Pa、135-145 ℃下搅拌0.5-3 h；再加入锌粉或铝粉，在85~95Pa、135-145 ℃下，搅拌0.5-3 h，最后加入过氧化物，在85~95Pa、135-145 ℃下，搅拌0.2-1 h，得到固体缓蚀剂；将固体缓蚀剂进行造粒，得到固体缓蚀剂颗粒；

缓蚀剂为杂环类缓蚀剂、有机膦酸类缓蚀剂以及醛酮类缓蚀剂中的一种或几种；

助剂为硬脂酸锌；

乙二醇、己内酯、庚内酯、氨基酸与马来酸酐中的一种或多种的质量与乳酸的质量比为（3~20）：100；

催化剂为氯化亚锡或异辛酸锡；

缓蚀剂的质量为乳酸质量的40%-100%；

过氧化物为过氧化二异丙苯，过氧化物的质量为乳酸质量的0.3%-1.5%。

2.根据权利要求1所述的一种可完全降解固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于，乳酸与催化剂的质量比100：（0.12~0.60）。

3.根据权利要求1所述的一种可完全降解固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于，杂环类缓蚀剂为咪唑啉缓蚀剂、三氮唑缓蚀剂或吡啶缓蚀剂；有机膦酸类缓蚀剂为乙二胺四亚甲基膦酸、氮三甲撑基膦酸、羟基乙叉二膦酸或多氨基多醚基甲叉膦酸；醛酮类缓蚀剂为曼尼希碱缓蚀剂或席夫碱缓蚀剂。

4.根据权利要求1所述的一种可完全降解固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于，助剂的质量为乳酸质量的0.04%-0.5%。

5.根据权利要求1所述的一种可完全降解固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于，锌粉或铝粉的质量为乳酸质量的2%-20%。

6.根据权利要求1所述的一种可完全降解固体缓蚀剂的制备方法，其特征在于，固体缓蚀剂颗粒的粒径为2-10 mm。