[发明专利]一种照明光路系统及曝光光学系统

权利要求书

1.一种照明光路系统，所述照明光路系统为远心光学系统，其特征在于，所述照明光路系统包括：

前段子系统，用于收集照明光路前端的匀光部件出射的光束，由正焦度的弯月形透镜组成，所述前段子系统的焦距为30-45mm；

中段子系统，用于对前段子系统输出的光束进一步汇聚，包括第一双凹透镜和第一双凸透镜，所述中段子系统的焦距与照明光路系统的放大倍率近似成反比；

后段子系统，用于将中段子系统汇聚后的光束投射至数字微镜器件上，包括第二双凸透镜，所述后段子系统的焦距为90-110mm；

其中，所述照明光路系统通过调整所述中段子系统的焦距来改变所述照明光路系统的放大倍率。

2.如权利要求1所述的照明光路系统，其特征在于，所述任一子系统采用的透镜均为球面透镜。

3.如权利要求1所述的照明光路系统，其特征在于，所述弯月形透镜的前表面的曲率半径大于后表面的曲率半径。

4.如权利要求3所述的照明光路系统，其特征在于，所述弯月形透镜的前表面和后表面非同心设置，所述前表面和所述后表面的球心距离大于10mm。

5.如权利要求1所述的照明光路系统，其特征在于，所述中段子系统在光束的传播路径上，所述第一双凸透镜在前，所述第一双凹透镜在后。

6.如权利要求5所述的照明光路系统，其特征在于，所述中段子系统还包括位于所述第一双凸透镜和所述第一双凹透镜之间的凸平透镜。

7.如权利要求1所述的照明光路系统，其特征在于，所述后段子系统还包括偏转组件。

8.如权利要求7所述的照明光路系统，其特征在于，所述偏转组件包括反射镜和TIR棱镜，所述反射镜位于所述中段子系统和所述第二双凸透镜之间，所述TIR棱镜位于所述第二双凸透镜和所述数字微镜器件之间。

9.如权利要求1所述的照明光路系统，其特征在于，所述中段子系统的焦距与所述照明光路系统的放大倍率的乘积在150mm-170mm范围内。

10.如权利要求1所述的照明光路系统，其特征在于，所述前段子系统与所述中段子系统之间的第一间距D1范围是15mm≤D1≤50mm，所述中段子系统与所述后段子系统之间的第二间距D2范围是50mm≤D2≤200mm，所述后段子系统与所述数字微镜器件之间的第三间距D3范围是50mm≤D3≤300mm。

11.如权利要求1所述的照明光路系统，其特征在于，所述照明光路系统的点列图rms范围在0.05-0.15之间，100%点列图范围在0.2-0.4之间。