[发明专利]一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置

说明书

本发明公开了一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置，解决现有技术行星类工件架通用性差的不足之处，其既能调节工件夹具的角度，也能调节夹具盘的圆周公转半径，能够尽可能保证工件架的通用性；包括电机、工转传动装置、工件支架、大齿轮、支架及行星工作体系，还包括齿轮I、轴I及齿轮II，所述轴I安装在支架上，齿轮I和齿轮II皆设置在轴I上，且齿轮II在轴I上沿轴向可远离或靠近齿轮II，齿轮I与大齿轮呈立式啮合，齿轮II传动配合行星工作体系。

技术领域

本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体地说，是一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置。

背景技术

在真空镀膜环境中，有些基片是球面型的，常规镀膜伞以及平面行星工件架等夹具不能满足此类镀膜要求，不能将膜料均匀分布在所镀基片上；遂推出可调节斜面行星工件架专用夹具针对此类镀膜环境，从而拓宽真空镀膜的应用范围。

目前这个行业中，多为平面行星工件架和不可调斜面行星工件架（如申请号为：201420847687.8此专利中的行星工件架），这个就限制了一套夹具的通用性，如果换一种镀膜产品，那与之对应的夹具甚至工件架也会面临更换的情况，这样对企业来说即投入了更多的资金也耽误了生产进度。

发明内容

本发明的目的在于设计一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置，解决现有技术行星类工件架通用性差的不足之处，其既能调节工件夹具的角度，也能调节夹具盘的圆周公转半径，能够尽可能保证工件架的通用性。

本发明通过下述技术方案实现：一种可调角度和位置的斜面行星工件架装置，包括电机、工转传动装置、工件支架、大齿轮、支架及行星工作体系，还包括齿轮I、轴I及齿轮II，所述轴I安装在支架上，齿轮I和齿轮II皆设置在轴I上，且齿轮II在轴I上沿轴向可远离或靠近齿轮II，齿轮I与大齿轮呈立式啮合，齿轮II传动配合行星工作体系。

进一步的为更好地实现本发明，特别采用下述设置结构：所述电机传动配合工转传动装置，工转传动装置传动配合工件支架，大齿轮安装在工件支架上。

进一步的为更好地实现本发明，特别采用下述设置结构：所述支架安装在工件支架上，在轴I所对应的工件支架部位预留有活动空间。

进一步的为更好地实现本发明，特别采用下述设置结构：所述行星工作体系包括行星支架、齿轮III、轴II、转动支架、轴III、连接筒及工件盘，所述行星支架通过连杆和齿轮与齿轮II传动配合，所述齿轮III安装在行星支架上，所述工作盘设置在连接筒上，连接筒通过轴III配合在转动支架上，所述转动支架通过轴II配合在齿轮III上。

本发明与现有技术相比，具有以下优点及有益效果：

本发明解决现有技术行星类工件架通用性差的不足之处，其既能调节工件夹具的角度，也能调节夹具盘的圆周公转半径，能够尽可能保证工件架的通用性。

本发明相较于传统的斜面行星工件架和平面行星工件架而言，其上所放置的工件盘通过添加两组锥齿轮副实现了角度可调整，同时连接筒因为轴上的可移动位置的齿轮实现了在工件支架径向可调节。

附图说明

图1为本发明结构示意图。

图2为本发明的仰视图。

图3为本发明连接筒内的锥齿轮组截面图。

其中，1-电机、2-工转传动装置、3-工件支架、4-大齿轮、5-齿轮I、6-轴I、7-齿轮II、8-支架、9-行星支架、10-齿轮III、11-轴II、12-转动支架、13-轴III、14-连接筒、15-工件盘。

具体实施方式

下面结合实施例对本发明作进一步地详细说明，但本发明的实施方式不限于此。