[发明专利]镀膜机开关门装置、系统,开关门控制方法以及镀膜机有效

专利信息
申请号: 202110903933.1 申请日: 2021-08-06
公开(公告)号: CN113464009B 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 蒋毅;刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;陆其彬 申请(专利权)人: 佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
主分类号: E05F15/53 分类号: E05F15/53;E05F15/40;E05F15/70;E05F15/73;E05F15/77;C23C14/00;C23C16/00
代理公司: 广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙) 44614 代理人: 余永文
地址: 528000 广东省佛山市南海区狮山镇信息大道南3*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 镀膜 开关 装置 系统 门控 方法 以及
【权利要求书】:

1.一种镀膜机开关门系统,应用于真空镀膜机,所述真空镀膜机包括:真空腔室,与所述真空腔室连接的腔门,所述腔门通过合页与真空腔室连接;其特征在于,还包括至少一个开关门装置,与所述开关门装置的驱动部件连接的控制装置,所述控制装置连接有异物检测装置;其中,所述异物检测装置包括安装在腔门的顶部的摄像头以及安装在腔门的门框底部红外光栅;所述控制装置连接控制平台;

所述开关门装置驱动所述腔门绕所述合页转轴转动,开启或者关闭所述腔门;

所述控制装置用于接收控制指令,根据该控制指令调用开关门控制程序控制所述驱动部件运行;

所述控制平台,用于控制摄像头拍摄腔门一定范围内的视频图像;并通过控制装置控制红外光栅发出红外光;通过视频图像在竖直方向上来判断腔门转动方向上是否存在可疑异物,若是,读取红外光栅的数据,判断

红外光栅的红外光是否被切断,在水平方向上进行判断在门框运动过程中是否有异物;若所述红外光栅的红外光被切断,判定检测到异物,控制腔门暂停,否则保持腔门转动。

2.根据权利要求1所述的镀膜机开关门系统,其特征在于,该开关门装置包括:设置在所述腔门上的门板把手,设置在所述真空腔室外侧的固定底座,连接所述固定底座的驱动部件,以及连接所述驱动部件与门板把手

之间的转动连接部件;

在真空镀膜机开关门过程中,所述驱动部件驱动所述门板把手运动,使得真空门绕所述合页转轴转动,开启或者关闭所述腔门。

3.根据权利要求2所述的镀膜机开关门系统,其特征在于,所述驱动部件为液压油缸,所述液压油缸的管路上设置有电磁阀;

当所述腔门在开合轨迹中停止时,所述电磁阀置为锁止状态,液压油缸的活塞杆保持不动,控制腔门进行位置锁止。

4.根据权利要求3所述的镀膜机开关门系统,其特征在于,所述异物检测装置,用于检测所述腔门在开合轨迹范围内出现的异物检测信息,将所述异物检测信息发送至所述控制装置;

所述控制装置还用于根据所述异物检测信息分析所述腔门在开合轨迹范围内是否存在异物,并在判定存在异物时发出告警提示,和/或控制所述驱动部件暂停运行。

5.根据权利要求4所述的镀膜机开关门系统,其特征在于,所述异物检测装置还包括设置于真空镀膜机上方的摄像头;其中,

所述摄像头,用于从上方拍摄腔门在开合轨迹范围内的视频图像;

所述控制装置,用于控制腔门打开/关闭;

所述控制平台,用于接收控制装置的控制信息,确定当前为关门还是开门操作;若当前为开门操作,实时判断在腔门转动方向上的轨迹范围内是否有异物图像,如果有,则发出告警提示;若当前为关门操作,实时判

断在腔门转动方向上与腔门之间的轨迹范围内是否有异物图像,如果有,则发出告警提示,并通过控制装置控制驱动部件暂停运行。

6.根据权利要求1所述的镀膜机开关门系统,其特征在于,若所述红外光栅的红外光被切断,判定检测到异物,控制腔门暂停,并发出告警提示。

7.根据权利要求6所述的镀膜机开关门系统,其特征在于,所述摄像头还用于根据所述控制平台输出的视频输出切换指令,输出常规监控模式的图像数据或者输出实时显示模式的图像数据;其中,所述常规监控模式

下,所述图像数据为灰度图、低分辨率且低编码率。

8.一种开关门控制方法,应用于权利要求1-7任一项所述的镀膜机开关门系统,其特征在于,所述控制平台,用于执行开关门控制方法;

所述方法包括:

接收开门/关门控制指令;

确定本次行程的起始角度和终止角度,根据所述起始角度和终止角度计算第一转动角度范围;

根据所述第一转动角度范围计算角速度曲线;

根据所述角速度曲线计算所述驱动部件的第一运动曲线,并根据所述第一运动曲线控制所述驱动部件运行。

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