[发明专利]一种刻蚀工艺的仿真方法及装置

权利要求书

1.一种刻蚀工艺的仿真方法，其特征在于，包括：

获取待刻蚀对象的几何剖面结构；

从所述几何剖面结构上确定初始刻蚀轮廓；

获取所述待刻蚀对象的第一刻蚀参数以及刻蚀物质的第二刻蚀参数，所述刻蚀物质用于对所述待刻蚀对象进行刻蚀；

根据所述第一刻蚀参数以及所述第二刻蚀参数，确定刻蚀速率；

根据所述刻蚀速率和预设的刻蚀方式，确定沿水平方向的水平单位速度以及沿垂直方向的垂直单位速度；

从目标时长中确定多个候选时刻；

将当前候选时刻的前一候选时刻下的仿真轮廓，确定为候选轮廓，其中，所述目标时长中初始候选时刻下的仿真轮廓为所述初始刻蚀轮廓；

利用网格生成技术，将所述候选轮廓中的每条候选弧线用依次连接的多个候选线段表示，其中，任意两条相接的候选线段不在同一水平线上；

所述候选轮廓中除所述候选弧线以外的其他线段，以及所述多个候选线段，共同构成当前目标轮廓；

针对所述当前目标轮廓中的任一目标线段，将沿着所述目标线段的方向确定为切向刻蚀方向，将垂直于所述目标线段的方向确定为法向刻蚀方向；

根据所述水平单位速度、所述垂直单位速度以及每条目标线段与水平方向的夹角，确定每条目标线段对应的切向单位速度和法向单位速度；

在所述当前候选时刻下，将每条目标线段沿对应的法向刻蚀方向进行平移，生成每条目标线段平移后所得的中间线段，其中，每条目标线段的平移距离为每条目标线段对应的法向单位速度与候选间隔的乘积，所述候选间隔为所述当前候选时刻与所述当前候选时刻的前一候选时刻的时间间隔；

根据所述当前目标轮廓中位于首端的第一目标线段、所述第一目标线段对应的第一切向单位速度和第一法向单位速度，以及所述候选间隔，生成第一边界弧线；

根据所述当前目标轮廓中位于末端的第二目标线段、所述第二目标线段对应的第二切向单位速度和第二法向单位速度，以及所述候选间隔，生成第二边界弧线；

将第一中间线段的首端点、所述第一中间线段的末端点、第二中间线段的首端点以及所述第二中间线段的末端点所共同确定的贝塞尔曲线，确定为连接所述第一中间线段和所述第二中间线段的中间弧线，其中，所述第一中间线段为候选目标线段平移后所得的中间线段，所述第二中间线段为与所述候选目标线段的末端相接的目标线段平移后所得的中间线段，所述候选目标线段为任一目标线段；

依次连接所述第一边界弧线、中间轮廓以及所述第二边界弧线，得到所述当前候选时刻下的仿真轮廓，其中，所述中间轮廓是由多条中间线段以及连接任意两条相邻中间线段的中间弧线组成，所述第一边界弧线的末端点与所述中间轮廓的首端点相接，所述中间轮廓的末端点与所述第二边界弧线的首端点相接；

将所述当前候选时刻的下一个候选时刻确定为当前候选时刻，并返回执行将当前候选时刻的前一候选时刻下的仿真轮廓，确定为候选轮廓的步骤，直至完成所述目标时长中最后一个候选时刻的仿真刻蚀，得到刻蚀后的仿真轮廓；

确定所述仿真轮廓与预设需求轮廓的轮廓差异；

如果所述轮廓差异大于预设阈值，则重新设置目标时长，并返回执行从目标时长中确定多个候选时刻的步骤，直至所述轮廓差异小于或等于所述预设阈值。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述当前目标轮廓中位于首端的第一目标线段、所述第一目标线段对应的第一切向单位速度和第一法向单位速度，以及所述候选间隔，生成第一边界弧线，包括：

针对所述当前目标轮廓中位于首端的第一目标线段，以所述第一目标线段的首端点为原点，以所述第一目标线段为x轴正轴，以所述第一目标线段的法向刻蚀方向为y轴，建立第一坐标系；

在所述第一坐标系下，以所述第一坐标系的原点为圆心，以沿所述第一坐标系x轴方向的第一切向线段为第一对称轴，以沿所述第一坐标系y轴方向的第一法向线段为第二对称轴，构建第一椭圆，其中，所述第一切向线段的中点为所述第一坐标系的原点，所述第一切向线段的长度为所述第一目标线段对应的第一切向单位速度与所述候选间隔的乘积的二倍，所述第一法向线段的中点为所述第一坐标系的原点，所述第一法向线段的长度为所述第一目标线段对应的第一法向单位速度与所述候选间隔的乘积的二倍；

将所述第一椭圆在所述第一坐标系第三象限内的四分之一椭圆弧，确定为第一边界弧线。