[发明专利]一种用于太阳能电池的薄膜、太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述太阳能电池结构为ITO/CdS/AgIn_xSbS_(2+3x/2)(Se) /Au，按如下步骤进行：

S1、清洗基材：以ITO玻璃为基材，用碱性洗涤剂超声波清洗，然后去离子水进行超声洗涤；

S2、沉积CdS缓冲层：采用化学镀法在ITO基材上沉积了150nm厚的CdS缓冲层，然后在400℃退火5min；

S3、沉积AgIn_xSbS _(2+3x/2) (Se)吸收层：

（一）配制喷涂液：

（1）硝酸银、硝酸铟溶解于乙二醇甲醚中，形成溶液A，硝酸银、硝酸铟和乙二醇甲醚的摩尔体积比为1mmol：0.25~1mmol：13~15mL；

（2）乙酸锑溶解于乙酸中形成溶液B，乙酸锑和乙酸的摩尔体积比是1mmol:3.5~4mL；

（3）将溶液A和溶液B混合，加入质量浓度为68%的浓硝酸，最后加入乙酸和硫脲，混合形成喷涂液，硫脲和乙酸的摩尔体积比为7.7~8mmol:1mL，硝酸银、乙酸锑、硫脲和浓硝酸的摩尔体积比例为1mmol:1mmol:4mmol:80μL；

（二）沉积AgIn_xSbS_(2+3x/2)薄膜

在N₂环境下，N₂气流量为20~24L/min，采用超声波喷涂热解沉积AgIn_xSbS_(2+3x/2)薄膜，喷涂液进料速率为0.3mL/min，沉积速率为150nm/min，沉积温度为330℃，沉积厚度为600nm，x=0.25~1.0；

（三）硒化

将AgIn_xSbS_(2+3x/2)薄膜置于热处理炉的380℃高温区，将硒粉置于350℃低温区，进行硒化6~9min，得厚度为950nm的AgIn_xSbS_(2+3x/2)(Se)薄膜；

S4、沉积Au电极层：用离子溅射镀膜机将60 nm厚的Au溅射到AgIn_xSbS _(2+3x/2) (Se)表面。