[发明专利]一种流量式气密测试装置在审
| 申请号： | 202110907090.2 | 申请日： | 2021-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN113432809A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 程文轩;赖桂文;王东琦;詹承锐;王淋凡 | 申请（专利权）人： | 厦门理工学院 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 黄巧香 |
| 地址： | 361024 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 流量 气密 测试 装置 | ||
1.一种流量式气密测试装置，其特征在于，包括：气体输入回路、排气回路、气密性检测回路、第一测量单元、以及第二测量单元；
其中，所述气体输入回路的输入端用于连接气压源，所述气体输入回路的输出端与所述气密性检测回路的输入端连接，所述气密性检测回路的输出端用于连接标准端和工件端，所述排气回路连接在所述气密性检测回路上，所述第一测量单元并在气密性检测回路上，所述第二测量单元连接在所述标准端和所述气密性检测回路的输入端之间。
2.根据权利要求1所述的一种流量式气密测试装置，其特征在于，所述气密性检测回路包括：依次连接的第一电磁阀和第二电磁阀；
所述第一电磁阀的输入端与所述气体输入回路的输出端连接，所述第二电磁阀的输出端与所述工件端连接，所述第一检测单元的第一端与所述第一电磁阀的输入端连接，所述第一检测单元的第二端与所述第二电磁阀的输出端连接。
3.根据权利要求2所述的一种流量式气密测试装置，其特征在于，所述气体输入回路包括电磁比例阀及第三电磁阀；
所述电磁比例阀的输入端与所述气压源连接，所述电磁比例阀的输出端与所述第三电磁阀的输入端连接，所述第三电磁阀的输出端与所述第一电磁阀的输入端连接。
4.根据权利要求1所述的一种流量式气密测试装置，其特征在于，所述排气回路包括：第一排气阀及第二排气阀；
其中，所述第一排气阀与所述标准端连接，所述第二排气阀连接在所述第一电磁阀与所述第二电磁阀之间。
5.根据权利要求1所述的一种流量式气密测试装置，其特征在于，第一测量单元为高精度质量流量计。
6.根据权利要求1所述的一种流量式气密测试装置，其特征在于，第二测量单元为压力传感器。
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