[发明专利]一种电容器的电介质薄膜加工装置

说明书

本发明公开了一种电容器的电介质薄膜加工装置，属于薄膜加工技术领域。包括壳体、位于壳体内部的涂覆机构以及热处理机构，涂覆机构包括喷涂组件与输送组件，利用喷涂组件中使涂覆材料可以通过安装在第一圆壳外壁的喷头旋转射出，进而对薄膜表面进行双重喷涂，可有效避免了涂覆过程中涂覆材料在薄膜上分布的不均匀，热处理机构包括加热组件与驱动组件，利用螺旋叶片对加热管热能在加热套筒内进行循环输送，使加热套筒受热更均匀，加快对薄膜上的涂覆材料的烘干，利用第二转动杆、第一套筒与锥齿轮之间的啮合传动，使加热套筒与螺旋叶片之间异方向转动，使加热套筒的加热速度更快，提高了装置的工作效率。

技术领域

本发明涉及薄膜加工技术领域，具体为一种电容器的电介质薄膜加工装置。

背景技术

在半导体集成电路、薄膜混合集成电路以及薄膜化元器中，具有良好绝缘性能和介电性能的电容器电介质薄膜应用十分广泛，由于电介质薄膜的厚度可以做的很薄，容易卷绕，所以使得这种电容器的电容量和工作电压范围很宽，所受到的温度限制比较小，并且其使用寿命超长，只要没有损坏，几乎是不会有使用寿命的限制，无极性、绝缘阻抗高、频率特性优异和介质损失小等均为其优点。而拥有如此多的优良特性，其电介质薄膜在制造也就十分严谨重要，而介质薄膜在制造加工过程中，也存在很多不足，比如在进行喷涂材料时，喷涂不均匀，以及供热烘干不充分，造成切割后，使电介质薄膜成品的质量层次不齐，总体质量下降，从而影响电容器的工作性能，同时对薄膜的切割方式多多采用气切，频繁切割造成较大噪音，造成工作环境恶劣。

发明内容

本发明提供一种电容器的电介质薄膜加工装置，解决了电介质薄膜加工装置薄膜加热不充分，以及喷涂材料不均匀的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种电容器的电介质薄膜加工装置，包括壳体、位于壳体内部的涂覆机构以及热处理机构，所述壳体内壁之间设有若干个用于支撑的支撑架；

涂覆机构，包括喷涂组件以及输送组件，所述喷涂组件包括第一圆壳、第一转动杆以及若干个喷头，所述输送组件将介质薄膜输送至所述喷涂组件的喷射区域，所述第一转动杆两端插在所述壳体侧壁上，所述第一圆壳套在所述第一转动杆上，且所述第一圆壳在所述第一转动杆上自由转动，所述喷头位于所述第一圆壳外壁，且所述喷头在所述第一圆壳外壁呈环绕式安装，所述喷头下端接有管道，所述管道位于所述第一圆壳内部，所述管道一端与喷头尾端相连，所述管道另一端设有一喷射泵，所述喷射泵将涂覆材料沿着管道输送至喷头，再经过喷头射出，且在所述喷头射出过程中，所述第一圆壳一同转动，转动过程中所述喷头将涂覆材料均匀喷射在薄膜的一侧表面；

所述驱动组件包括第一电机、第一锥齿轮以及第一套筒，所述第一电机固定在所述壳体一侧外壁，所述壳体外壁设有一保护罩，所述驱动组件均位于所述保护罩内，所述第一锥齿轮卡套在所述第一电机输出端，所述第一套筒卡套在所述第二转杆一端，所述第一套筒一端设有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合，所述第一套筒另一端与所述加热套筒一端外壁固连，所述第二转动杆杆身设有第三锥齿轮，所述第三锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合，所述第一电机转动，带动加热组件中的所述螺旋叶片转动，且同时带动加热套筒朝与所述螺旋叶片相反方向转动；

热处理机构，包括加热组件以及驱动组件，所述加热组件包括加热套筒、第二转动杆、加热管以及螺旋叶片，所述加热套筒卡套在所述第二转动杆外壁，所述加热管以及螺旋叶片均位于所述加热套筒内部，所述螺旋叶片套在所述第二转动杆外壁，且所述第二转动杆与所述螺旋叶片联动，所述加热管内部为中空结构，所述螺旋叶片位于所述加热管内部，所述加热管外壁与所述加热套筒内部固连，所述加热套筒与所述加热管联动，所述驱动组件位于所述第二转动杆一端，所述驱动组件控制所述加热组件转动，所述加热套筒和加热管转动方向与所述第二转动杆和螺旋叶片转动方向相反，所述螺旋叶片转动过程中所述加热管热量均匀吹散到所述加热套筒壁上，保持加热套筒外壁受热均匀。