[发明专利]一种光电混合相变存储器测试系统及方法

权利要求书

1.一种光电混合相变存储器测试系统，其特征在于：包括：

激光器模块，用于对样品提供诱导其相变材料相变的激光信号；

电学测试模块，用于对样品提供测量信号并测试其相变材料相变所产生的电学性能变化；

微控探针台，用于对样品引入并施加激光信号或测量信号；

所述控制模块，用于根据测试指令控制激光器模块和电学测试模块在微控探针台上进行引入和切换。

2.如权利要求1所述的一种光电混合相变存储器测试系统，其特征在于：所述激光信号为脉高或脉宽逐渐增加或减小的激光脉冲信号。

3.如权利要求2所述的一种光电混合相变存储器测试系统，其特征在于：所述激光脉冲信号的脉高为0-3000μJ，所述激光脉冲信号的单个脉冲脉宽≤100ps。

4.如权利要求1所述的一种光电混合相变存储器测试系统，其特征在于：所述电学测量模块提供的测量信号包括电压信号和电流信号，所述电压信号的范围为20mV-200V，所述电流信号的范围为10pA-1A。

5.如权利要求1-4中任一项所述的一种光电混合相变存储器测试系统，其特征在于：所述激光器模块和所述电学测试模块分别与所述微控探针台之间还设有转换连接组件。

6.一种光电混合相变存储器的测试方法，采用如权利要求1-5中任一项所述的一种光电混合相变存储器测试系统，其特征在于：包括以下步骤：

S1：将样品放置在微控探针台上；

S2：通过控制模块控制激光器模块通过微控探针台对样品施加一诱导其相变材料相变的激光信号；

S3：通过控制模块控制电学测试模块通过微控探针台对样品施加一测量信号；

S4：电学测试模块根据测量信号测试样品相变材料相变所产生的电学性能变化。

7.如权利要求6所述的一种光电混合相变存储器的测试方法，其特征在于：所述步骤S4中电学性能变化测试包括对相变材料或光电混合相变存储器器件单元的电阻变化规律测试。

8.如权利要求7所述的一种光电混合相变存储器的测试方法，其特征在于：所述电阻变化规律测试包括电阻与激光脉高测试，所述电阻与激光脉高测试包括以下步骤：

在激光脉宽固定的情况下，利用控制模块控制激光器模块发出脉高逐渐增加或减小的激光脉冲信号，并把激光脉冲信号施加在样品上；

通过控制模块控制电学测试模块测量样品的电阻，并记录、显示和保存样品的电阻-激光脉高曲线。

9.如权利要求7所述的一种光电混合相变存储器的测试方法，其特征在于：所述电阻变化规律测试包括电阻与激光脉宽测试，所述电阻与激光脉宽测试包括以下步骤：

在激光脉高固定的情况下，利用控制模块控制激光器模块发出脉宽逐渐增加或减小的激光脉冲信号，并把激光脉冲信号施加在样品上；

通过控制模块控制电学测试模块测量样品的电阻，并记录、显示和保存样品的电阻-激光脉宽曲线。

10.如权利要求7所述的一种光电混合相变存储器的测试方法，其特征在于：所述电阻变化规律测试包括疲劳特性测试，所述疲劳特性测试包括以下步骤：

利用控制模块控制激光器模块发出激光脉宽和激光脉高固定的写/擦脉冲信号，并把脉冲信号施加在样品上；

通过控制模块控制电学测试模块测量样品的电阻，并记录、显示和保存样品的电阻-写/擦次数曲线，其中，写/擦脉冲信号的数量是单个或多个连续信号，写/擦脉冲信号的周期预先设定，输出写/擦脉冲信号的次数预先设定。