[发明专利]一种光刻胶用酚醛树脂及其制备方法有效
申请号: | 202110910692.3 | 申请日: | 2021-08-09 |
公开(公告)号: | CN113461885B | 公开(公告)日: | 2022-07-05 |
发明(设计)人: | 张洁;纪爱亮;王光辉;张成;王文芳;董栋;张宁 | 申请(专利权)人: | 北京彤程创展科技有限公司;上海彤程电子材料有限公司;彤程新材料集团股份有限公司 |
主分类号: | C08G8/24 | 分类号: | C08G8/24;G03F7/004 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 李爱民 |
地址: | 102600 北京市大兴区北京经济*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光刻 酚醛树脂 及其 制备 方法 | ||
1.一种光刻胶用酚醛树脂的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
制备步骤:单羟基酚类、多羟基苯酚和醛类化合物在酸性催化剂和水的条件下进行反应,得到反应液;其中,所述单羟基酚类、多羟基苯酚的摩尔比为1:(0.042~0.25),所述单羟基酚类和多羟基苯酚的总用量和醛类化合物的摩尔比为1:(0.55~0.63);
所述单羟基酚类选自2-甲基苯酚、3-甲基苯酚、4-甲基苯酚、2,3-二甲基苯酚、2,4-二甲基苯酚、2,5-二甲基苯酚、2,6-二甲基苯酚、3,5-二甲基苯酚、2,3,5-三甲基苯酚、3,4,5-三甲基苯酚中的至少两种;
纯化步骤:首先中和剂中和反应液,并分出水相;然后进行水洗处理,并分出水相;最后在35~80℃温度下进行干燥,得到光刻胶用酚醛树脂。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述多羟基苯酚选自1,3-间苯二酚、1,4-对苯二酚、4-甲基间苯二酚、2-甲基间苯二酚、2,5-二甲基间苯二酚、4,5-二甲基间苯二酚、2,6-二甲基对苯二酚中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述酸性催化剂选自对甲苯磺酸、十二烷基苯磺酸、盐酸、硫酸、草酸中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述中和剂选自三乙胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氢氧化钠、氢氧化钾中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述干燥的温度为40~60℃。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述反应的温度为70~100℃,反应的时间为1~7小时。
7.一种光刻胶用酚醛树脂,其特征在于,由权利要求1至6中任意一项所述的制备方法制备而成。
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