[发明专利]一种水基晶圆边胶清洗剂在审
| 申请号： | 202110911303.9 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113462486A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 刘小勇;田博;房龙翔;叶鑫煌 | 申请（专利权）人： | 福建省佑达环保材料有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/78 | 分类号： | C11D1/78;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/386;C11D3/60 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 刘佳;蔡学俊 |
| 地址： | 362800 福建省泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 水基晶圆边胶清 洗剂 | ||
【权利要求书】：
1.一种水基晶圆边胶清洗剂，其特征在于：以质量百分含量计，其原料组成为：烷链醇胺20%~40%、芳香醇类溶剂25%-50%、表面活性剂5%~15%、生物酶0.1%~1%、去离子水25%~50%；各原料组成之和为100%；
所述表面活性剂为异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯，所述生物酶为碱性蛋白酶。
2.根据权利要求1所述的水基晶圆边胶清洗剂，其特征在于：所述烷链醇胺具体为乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺中的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的水基晶圆边胶清洗剂，其特征在于：所述芳香醇类溶剂为苄醇或苯乙醇。
4.根据权利要求1所述的水基晶圆边胶清洗剂，其特征在于：所述去离子水在25℃时的电阻率不低于18MΩ。
5.根据权利要求1所述的水基晶圆边胶清洗剂，其特征在于：其配制方法是在常温下先将去离子水加入搅拌釜，在60r/min的转速下依次加入烷链醇胺、芳香醇类溶剂、表面活性剂和生物酶，全部添加完毕后继续搅拌30分钟，再经孔径为1μm的滤芯过滤即得。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建省佑达环保材料有限公司，未经福建省佑达环保材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202110911303.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
