[发明专利]一种PVD法生产硒化锌的改进装置及生产方法

权利要求书

1.一种PVD法生产硒化锌的改进装置，其特征在于，包括蒸发沉积系统(1)和真空系统(2)；

蒸发沉积系统(1)包括保温外壳(11)和石英管罩(15)；

保温外壳(11)内侧沿轴向分割为蒸发区(12)和沉积区(13)；

石英管罩(15)位于保温外壳(11)内侧，位于蒸发区(12)的石英管罩(15)内侧设有盛料组件(121)，盛料组件(121)包括盛料瓶(121A)，盛料瓶(121A)内侧设有过滤垫(121B)，过滤垫(121B)将盛料瓶(121A)内侧分割为两腔、分别为内侧腔和外侧腔，外侧腔的端部设有开口，开口朝向沉积区(13)；位于沉积区(13)的石英管罩(15)内侧设有沉积模具(131)，沉积模具(131)为管腔结构，沉积模具(131)的前端与盛料瓶(121A)上的开口相对，盛料瓶(121A)和沉积模具(131)之间通孔隔热垫(121C)，通孔隔热垫(121C)上设有通孔(D)、使得盛料瓶(121A)上的开口和沉积模具(131)相互贯通；石英管罩(15)外侧和蒸发区(12)内侧之间设有蒸发加热器(122)，石英管罩(15)外侧和沉积区(13)内侧之间设有沉积加热器(132)；蒸发加热器(122)和沉积加热器(132)之间设有隔热层(14)；

真空系统(2)包括导流管粘盘(20)、导流管(21)、过滤器(22)、真空计(23)、预抽泵(25)以及主抽泵(27)；位于沉积区(13)的石英管罩(15)端部伸出保温外壳(11)与真空系统(2)连通，导流管粘盘(20)连接于石英管罩(15)端部；导流管(21)的一端穿过导流管粘盘(20)与石英管罩(15)内部连通，导流管(21)的另一端连通主抽泵(27)；过滤器(22)、真空计(23)和预抽泵(25)依次设在导流管粘盘(20)和主抽泵(27)之间的导流管(21)上；预抽泵(25)上设有预抽阀(24)，主抽泵(27)上设有主抽阀(26)。

2.如权利要求1所述的PVD法生产硒化锌的改进装置，其特征在于，真空系统(2)中的导流管(21)上包含一个三通接头，三通接头一头连接真空计(23)，一头连接预抽阀(24)，另一头连接主抽阀(26)。

3.如权利要求1或2所述的PVD法生产硒化锌的改进装置，其特征在于，沉积模具(131)通过定位夹(133)定位于石英管罩(15)内。

4.如权利要求1或2所述的PVD法生产硒化锌的改进装置，其特征在于，沉积模具(131)包括拼接钼片、密封钼片和卡箍；拼接钼片有结构相同、大小相等的两片，拼接钼片的截面为直角三角形，两片拼接钼片拼接为方形管腔结构，方形管腔结构从前端到后端呈逐渐收缩的结构；密封钼片有结构相同的两片，密封钼片的截面为等腰直角三角形，两片密封钼片分别贴合在两片拼接钼片的两个对角拼接处的外围，卡箍卡合在拼接钼片和密封钼片外围。

5.如权利要求1或2所述的PVD法生产硒化锌的改进装置，其特征在于，沉积模具(131)的前端敞口大小与通孔隔热垫(121C)上的通孔(D)大小相等、且相互对接。

6.如权利要求1或2所述的PVD法生产硒化锌的改进装置，其特征在于，蒸发加热器(122)为均匀分布在与蒸发区(12)正对的石英管罩(15)外围的两个以上的硅碳棒加热组件；沉积加热器(132)为均匀分布在与沉积区(13)正对的石英管罩(15)外围的两个以上的硅碳棒加热组件。