[发明专利]尾气处理装置

说明书

本发明公开了一种尾气处理装置，至少包括一个阻流罐，阻流罐的罐体侧壁上连通一个进气管口，在阻流罐的罐体内的下部设有加热器组件和冷却组件，加热器组件在罐体内部延伸出加热丝，在加热丝上设有若干根阻流条，冷却组件向罐体内部延伸出冷却管道，冷却管道上设有若干根阻流条，在阻流罐的罐体内的上部设置多层阻流板，包括间隔设置的底层阻流板、顶层阻流板和中间阻流板，中间阻流板上开设有错位分布的通气区域，气流在多层阻流板之间迂回曲折上升流动，在各个阻流板的下表面设置若干根阻流条。本发明将绝大部分反应物粉尘颗粒捕捉在尾气处理装置内部，大幅降低进入真空泵的尾气中粉尘含量，有效延长了真空泵的正常使用时间和使用寿命。

技术领域

本发明涉及光伏电池制造设备领域，尤其是一种尾气处理装置。

背景技术

太阳能光伏电池是一种把太阳的光能直接转化为电能的新型电池。目前通常使用的是以硅为基底的硅光伏电池，包括单晶硅、多晶硅和非晶硅光伏电池。目前较为成熟的钝化膜材料包括氧化铝、氧化硅、氮氧化硅、氮化硅等，这些镀膜沉积工艺往往会生成尾气，而尾气通常需要先进行过滤净化处理后再排入外排管道。以ALD为例，ALD原子层沉积设备是一种用于硅片表面镀膜的专用工艺设备，其工作原理是：通过将气相前驱体脉冲交替地通入反应器，在沉积基体上化学吸附并反应，而形成沉积膜。由于通入的工艺气体TMA具有极强的易燃易爆性，遇空气会发生剧烈反应，所以在尾气排入尾排管道之前需要对尾气进行处理，将尾气中残留的TMA反应掉再排入外排管道。目前ALD原子层沉积设备中采用的尾气处理装置分为上下两层处理罐，通过向下处理罐中通入饱和水蒸气，与尾气中残留的TMA发生反应，将尾气中的TMA消耗掉，反应过程中生成的Al₂O₃经过上处理罐中的过滤装置，对生成的Al₂O₃颗粒进行捕捉，最后经过真空泵排入尾排管道。

现有的尾气处理装置中只有加热器，而没有冷却水组件，反应生成的Al₂O₃很难完全被过滤装置捕捉，尾气中过多的Al₂O₃粉尘颗粒进入真空泵，导致真空泵频繁卡死，降低了真空泵的使用寿命，从而影响了设备整体的稳定性和产能，存在过滤净化效果差等问题。

发明内容

本申请人针对上述现有沉积设备尾气处理装置存在的尾气生成物很难被过滤装置捕捉、过滤效果差、易造成真空泵卡塞等问题，提供了一种结构合理的尾气处理装置，能够实现先加热使尾气和反应气体发生充分反应，生成的反应物粉尘颗粒再经过冷却水组件和阻流板时，凝结在温度较低的阻流板上，从而将绝大部分反应物粉尘颗粒捕捉在尾气处理装置内部，显著提高过滤净化效果。

本发明所采用的技术方案如下：

一种尾气处理装置，至少包括一个阻流罐，阻流罐的罐体侧壁上连通一个进气管口，在阻流罐的罐体内的下部设有加热器组件和冷却组件，加热器组件在罐体内部延伸出加热丝，在加热丝上设有若干根阻流条，冷却组件向罐体内部延伸出冷却管道，冷却管道上设有若干根阻流条，在阻流罐的罐体内的上部设置多层阻流板，包括间隔设置的底层阻流板、顶层阻流板和中间阻流板，中间阻流板上开设有错位分布的通气区域，气流在多层阻流板之间迂回曲折上升流动，在各个阻流板的下表面设置若干根阻流条。

作为上述技术方案的进一步改进：

加热器组件在罐体侧面进气管口的对应位置设有加热器，加热器从侧壁上向罐体内部延伸出空间二维度分布的加热丝，构成横向和纵向的空间二维分布网络，加热丝的开始端和最终端均与加热器连接。