[发明专利]敏感组件应力消除结构及具有其的振梁加速度计

权利要求书

1.一种敏感组件应力消除结构，其特征在于，所述敏感组件应力消除结构包括：

应力消除主体单元(10)，所述应力消除主体单元(10)具有振梁阻尼腔(10a)和摆挠性支撑阻尼腔(10b)，所述振梁阻尼腔(10a)与所述摆挠性支撑阻尼腔(10b)呈夹角设置，所述振梁阻尼腔(10a)用于容纳设置振梁叉指组件，所述摆挠性支撑阻尼腔(10b)用于容纳设置摆挠性支撑组件；

第一应力释放外环(20)和第二应力释放外环(30)，所述第一应力释放外环(20)和所述第二应力释放外环(30)均设置在所述应力消除主体单元(10)的周缘，所述第一应力释放外环(20)与所述第二应力释放外环(30)间隔设置，所述第一应力释放外环(20)和所述第二应力释放外环(30)之间形成应力释放腔；所述振梁阻尼腔(10a)包括第一振梁阻尼腔单元(101a)和第二振梁阻尼腔单元(102a)，所述振梁叉指组件包括第一振梁叉指和第二振梁叉指，所述第一振梁阻尼腔单元(101a)和所述第二振梁阻尼腔单元(102a)相对于所述应力消除主体单元(10)的中心轴线对称设置，所述第一振梁阻尼腔单元(101a)用于容纳设置第一振梁叉指，所述第二振梁阻尼腔单元(102a)用于容纳设置第二振梁叉指；所述摆挠性支撑阻尼腔(10b)包括第一摆挠性支撑阻尼腔单元(101b)和第二摆挠性支撑阻尼腔单元(102b)，所述摆挠性支撑组件包括第一摆挠性支撑和第二摆挠性支撑，所述第一摆挠性支撑阻尼腔单元(101b)和所述第二摆挠性支撑阻尼腔单元(102b)相对于所述应力消除主体单元(10)的中心轴线对称设置，所述第一摆挠性支撑阻尼腔单元(101b)用于容纳设置第一摆挠性支撑，所述第二摆挠性支撑阻尼腔单元(102b)用于容纳设置第二摆挠性支撑。

2.根据权利要求1所述的敏感组件应力消除结构，其特征在于，所述应力消除主体单元(10)的材质包括石英或金属。

3.根据权利要求2所述的敏感组件应力消除结构，其特征在于，所述振梁阻尼腔(10a)和所述摆挠性支撑阻尼腔(10b)均为长条形结构腔体。

4.根据权利要求2所述的敏感组件应力消除结构，其特征在于，所述应力消除主体单元(10)、所述第一应力释放外环(20)和所述第二应力释放外环(30)一体制成。

5.一种振梁加速度计，其特征在于，所述振梁加速度计包括敏感组件应力消除结构(100)和敏感组件(200)，所述敏感组件应力消除结构(100)设置在所述敏感组件(200)上，所述敏感组件应力消除结构(100)为权利要求1至4中任一项所述的敏感组件应力消除结构(100)。

6.根据权利要求5所述的振梁加速度计，其特征在于，所述振梁加速度计包括两个所述敏感组件应力消除结构(100)，第一敏感组件应力消除结构(100)设置在所述敏感组件(200)的一侧，第二敏感组件应力消除结构(100)设置在所述敏感组件(200)的另一侧。

7.根据权利要求6所述的振梁加速度计，其特征在于，所述敏感组件(200)包括敏感组件本体(210)、振梁叉指组件(220)和摆挠性支撑组件(230)，所述敏感组件本体(210)与所述敏感组件应力消除结构(100)的应力消除主体单元(10)固定连接，所述振梁叉指组件(220)设置在所述摆挠性支撑阻尼腔(10b)内，所述摆挠性支撑组件(230)设置在所述摆挠性支撑阻尼腔(10b)内。

8.根据权利要求7所述的振梁加速度计，其特征在于，所述振梁叉指组件(220)包括第一振梁叉指(221)和第二振梁叉指(222)，所述第一振梁叉指(221)设置在第一振梁阻尼腔单元(101a)内，所述第二振梁叉指(222)设置在第二振梁阻尼腔单元(102a)内，所述第一振梁叉指(221)和所述第二振梁叉指(222)相对于所述应力消除主体单元(10)的中心轴线对称设置；所述摆挠性支撑组件(230)包括第一摆挠性支撑(231)和第二摆挠性支撑(232)，所述第一摆挠性支撑(231)设置在第一摆挠性支撑阻尼腔单元(101b)内，所述第二摆挠性支撑(232)设置在第二摆挠性支撑阻尼腔单元(102b)内，所述第一摆挠性支撑(231)和所述第二摆挠性支撑(232)相对于所述应力消除主体单元(10)的中心轴线对称设置。