[发明专利]一种快速鉴别不同背银烧结钝化效果的方法在审
申请号: | 202110913311.7 | 申请日: | 2021-08-10 |
公开(公告)号: | CN113644001A | 公开(公告)日: | 2021-11-12 |
发明(设计)人: | 张满满;乐雄英;张双玉 | 申请(专利权)人: | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L31/18;H01L31/0224;H01L31/0216 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 李静 |
地址: | 224005 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 快速 鉴别 不同 烧结 钝化 效果 方法 | ||
本发明公开一种快速鉴别不同背银烧结钝化效果的方法,包括:(1)在硅片的正面和背面上镀钝化膜;(2)在镀过正、背面钝化膜的硅片上印刷第一款背银浆料;(3)第一款背银浆料印刷后下烘干;(4)将硅片旋转,并印刷第二款背银浆料;(5)第二款背银浆料印刷后继续烘干;(6)烘干后进行烧结;(7)烧结后测试PL;(8)通过对比不同印刷区域的明暗程度,可以快速准确的分析出不同背银的钝化效果。本发明的方法将两款背银同时印刷在同一张硅片上,既保证了PL测试相同的条件,防止不同硅片本身差异影响PL测试结果,又能在相邻很小的区域内,很直观的对比出不同款背银的优劣。本发明的方法为新款背银的导入提供了快速、有效的测试手段。
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产制造技术领域,具体涉及一种快速鉴别不同背银烧结钝化效果的方法。
背景技术
PERC太阳能电池的生产过程,主要包括以下工序:碱制绒→扩散→去PSG→碱抛光→氧化→背面镀膜→正面镀膜→背面激光开槽→背银电极印刷→烘干→背面栅线印刷→烘干→正银电极印刷→烘干烧结→电注入→测试→分选。
PERC电池的生产制造过程中,成本越低,测试效率越高,利润越大,所以要持续的降本提效,增加利润。在太阳能电池降本提效的过程中,经常要涉及到背银电极印刷工序背银的更新换代,通常的方法是在背银电极印刷的工序中,更换新款的背银,批量使用,经过后道工序,最终在测试工序测试效率,与产线现有的背银进行对比,优中选优。整个过程不仅繁琐,而且需要长时间的实验。并且虽然在理想状态下,新款的背银效率优于产线背银,但是往往会出现新款测试的背银效率低于产线,造成产品利润的降低。
因此,急需一种快速准确判定两种背银优劣的方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种快速鉴别不同背银烧结钝化效果的方法,本发明的方法通过在同一张硅片上印刷两种不同的背银浆料,烘干、烧结后测试PL,可以快速的得到两款背银的钝化效果对比,对背银提效等提供了一种有效分析手段。
本发明是通过如下技术方案实现的:
一种快速鉴别不同背银烧结钝化效果的方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:
(1)在硅片的正面和背面上镀钝化膜;
(2)在镀过正、背面钝化膜的硅片上印刷第一款背银浆料;
(3)第一款背银浆料印刷后在200-280℃下进行烘干;
(4)然后将所述硅片旋转,并印刷第二款背银浆料;
(5)第二款背银浆料印刷后继续在200-280℃下进行烘干;
(6)对烘干后的硅片进行烧结;
(7)烧结后测试PL;
(8)通过对比不同印刷区域的明暗程度,可以快速准确的分析出不同背银的钝化效果。
具体的,在太阳能电池背银提效的过程中,新旧款背银的钝化效果对比是必不可少的;常规产线操作是新款背银上线批量印刷,通过I-V效率测试对比优劣。但如果新款背银效果与预期相差甚远,就可能产生批量的不良片,影响产线的效率,良率,造成成本的严重浪费。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造