[发明专利]一种氮化硅粉末的制备方法及其设备

权利要求书

1.一种氮化硅粉末的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：

第一步、将经过0.1μm粒径的硅粉加入投料罐（201）中，转动调节螺杆（501）使活动架（30）在机架（10）的一侧向下滑动，直至二氧化碳激光器（40）的输出端进入通孔（60）的内部；

第二步、直线电机（303）带动导料管一（304）滑移至投料罐（201）的正下方，伺服电缸三（308）带动导料管一（304）的顶端插入投料罐（201）内部，挡料板（207）在圆弧槽（206）的内部进行转动，使投料罐（201）内部的上下方连通，投料罐（201）内部上方的硅粉落入分料板（205）的下方，挡料板（207）复位，打开投料罐（201）内部电磁阀开关，分料板（205）下方的硅粉落入导料管一（304）的内部，接着硅粉落入导料管二（305）的内部；

第三步、直线电机（303）带动送料架（301）滑移至反应盘（101）的上方，伺服电缸二（306）推动导料管二（305）下降至反应槽的内部，打开导料管二（305）内部电磁阀开关，将导料管二（305）内部的原料送至反应槽的内部；

第四步、向反应箱（20）的内部通入氮气，使反应箱（20）的内部充满氮气，接着二氧化碳激光器（40）发射二氧化碳激光对反应槽内部的硅粉进行照射，硅粉的温度升至1300℃，硅粉和氮气产生光化学反应，得到氮化硅粉末；

第五步、在得到氮化硅粉末后，反应盘（101）在滑杆（107）的推动下向右侧滑移，直至反应盘（101）的一侧进入集料管（605）的内部，接着滑杆（107）的一端进入安装槽（103）的内部，此时连接杆（108）的一端推动推料板（102）将反应槽中的氮化硅粉末推入集料管（605）的内部，完成对氮化硅粉末的收集；

第四步中，二氧化碳激光器（40）发射二氧化碳激光的波长为10.6μm；

所述包括机架（10）以及位于机架（10）底部设置的反应箱（20），所述机架（10）的一侧滑动设置有活动架（30），且活动架（30）的一侧设置有二氧化碳激光器（40），所述反应箱（20）的右侧连通有导气管（50），所述反应箱（20）的内部设置有固定架（80），且固定架（80）的内部设置有反应机构；

所述反应机构包括反应盘（101），所述反应盘（101）的顶部开设有反应槽，且反应槽的一侧滑动设置有推料板（102），所述反应盘（101）的内部开设有安装槽（103），且安装槽（103）的内部设置有弹簧一（104），所述固定架（80）的左侧设置有伺服电缸一（105），且伺服电缸一（105）驱动轴的一端设置有固定板（106），所述固定板（106）右侧的下方设置有滑杆（107），且滑杆（107）的一端与弹簧一（104）的一端固定连接，所述固定板（106）右侧的上方设置有连接杆（108），且连接杆（108）的一端与推料板（102）的一侧固定连接；

所述反应箱（20）内部的左侧设置有投料机构，所述投料机构包括投料罐（201），且投料罐（201）内部的上方设置有密封块（202），所述密封块（202）的内部设置有伺服电机（203），且伺服电机（203）输出轴的一端通过联轴器固定连接有转动杆（204），所述投料罐（201）内部的下方设置有分料板（205），且转动杆（204）的底端与分料板（205）的顶部转动连接，所述分料板（205）的内部开设有两个圆弧槽（206），且两个圆弧槽（206）的内部均设置有挡料板（207）；

所述固定架（80）的内部设置有送料机构，所述送料机构包括送料架（301），所述固定架（80）的内部开设有送料槽（302），且送料槽（302）内壁的两侧均滑动设置有直线电机（303），所述送料架（301）的内部活动设置有导料管一（304），且导料管一（304）的底端滑动设置有导料管二（305），所述送料架（301）内部的两侧均设置有伺服电缸二（306），且伺服电缸二（306）驱动轴的一端通过连接架一（307）与导料管二（305）的表面固定连接，所述送料架（301）内部的两侧均设置有伺服电缸三（308），且伺服电缸三（308）驱动轴的一端通过连接架二（309）与导料管一（304）的表面固定连接；

所述反应箱（20）的顶部设置有防护机构，所述防护机构包括防护板（401），所述反应箱（20）的内部开设有与防护板（401）相配合的连接槽（402），所述反应箱（20）的顶部设置有电推杆（403），且电推杆（403）驱动轴的一端与防护板（401）的一侧固定连接；

所述机架（10）的内部设置有调节机构，所述调节机构包括调节螺杆（501），所述机架（10）的内部滑动设置有调节块（502），且调节块（502）的一侧与活动架（30）的一侧固定连接，所述调节螺杆（501）的表面与调节块（502）的内部螺纹连接；

所述反应箱（20）的内部设置有收料机构，所述收料机构包括活动箱（601），且活动箱（601）的内部设置有收料箱（602），所述活动箱（601）的一侧设置有弧形块（603），且弧形块（603）与活动箱（601）的一侧之间设置有弹簧二（604），所述弧形块（603）的内部设置有集料管（605），且集料管（605）的一端与活动箱（601）的内部滑动连接，所述固定架（80）的内部开设有收料孔（606）；

所述投料罐（201）的底端与导料管一（304）的顶端相配合，且投料罐（201）内部的下方与导料管二（305）内部的下方均设置有电磁阀；

所述反应箱（20）内部的上方开设有通孔（60），且通孔（60）内部的下方设置有透明板（70）。