[发明专利]一种采用磁控溅射法制备金属支撑单体的方法

权利要求书

1.一种采用磁控溅射法制备金属支撑单体的方法，其特征在于，所述方法包括：

制备燃料极层，将Ni金属与钇稳定氧化锆，或Ni金属与钇镐合金燃料极层靶材共溅射到金属支撑体上，其中，所述金属支撑体上具有多孔区域，以及沿所述金属支撑体外表面以及所述多孔区域的多孔内壁设置的保护涂层，所述燃料极层靶材覆盖所述多孔区域；

制备电解质层，将钇稳定氧化锆或钪稳定氧化锆，或钇金属，或镐金属，或钇镐合金电解质层靶材单溅射或共溅射到所述燃料极层上；

制备空气极层，将钇稳定氧化锆与La_1-xSr_xMnO₃，或钇镐合金与La_1-xSr_xMnO₃空气极层靶材共溅射到所述电解质层上，得到所述金属支撑单体。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述制备燃料极层步骤中，所述Ni金属或钇镐合金采用直流溅射模式，所述钇稳定氧化锆采用射频溅射模式。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述制备燃料极层步骤中，直流溅射功率为10W-300W，射频溅射功率为10W-300W，溅射时间为20min-50h。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述制备电解质层步骤中，所述钇稳定氧化锆与钪稳定氧化锆采用射频溅射模式，所述钇金属，所述镐金属或所述钇镐合金采用直流溅射模式。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述制备电解质层步骤中直流溅射功率为10W-300W，射频溅射功率为10W-300W，溅射时间为20min-10h。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述燃料极层厚度与所述空气极层厚度相同，且所述燃料极层厚度与所述空气极层厚度均大于所述电解质层厚度。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述燃料极层厚度为1nm-5μm，所述电解质层厚度为1nm-1μm，所述空气极层厚度为1nm-5μm。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述燃料极层靶材与金属支撑体基底之间间距、所述电解质层靶材与燃料极层基底之间间距以及所述空气极层靶材与电解质层基底之间间距范围相同。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述间距范围为2cm-15cm。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述金属支撑体基底、所述燃料极层基底与所述电解质层基底的转速相同。