[发明专利]激光剥离设备及柔性显示器件的制备方法在审
申请号: | 202110917661.0 | 申请日: | 2021-08-11 |
公开(公告)号: | CN115376957A | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 李楚;陈新亮;苑立阁 | 申请(专利权)人: | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/268;H01L21/683;G09F9/30 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 侯武娇 |
地址: | 510700 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 剥离 设备 柔性 显示 器件 制备 方法 | ||
1.一种激光剥离设备,其特征在于,包括:
激光剥离平台,用于承载待剥离工件,所述待剥离工件包括承载基板以及设置在所述承载基板上的柔性显示器件;
激光发射装置,包括激光发射腔体、激光发射器、聚焦透镜及第一驱动机构;所述聚焦透镜设于所述激光发射腔体内;所述激光发射器用于朝所述聚焦透镜发射激光,以对所述激光剥离平台上的所述待剥离工件进行激光扫描处理;所述聚焦透镜与所述第一驱动机构连接,所述聚焦透镜在所述第一驱动机构的驱动下相对所述激光发射腔体升降运动,以在进行所述激光扫描处理时调节所述激光的焦点聚焦在所述承载基板与所述柔性显示器件之间的界面上。
2.如权利要求1所述的激光剥离设备,其特征在于,所述第一驱动机构设于所述激光发射腔体内;和/或
所述第一驱动机构为两个,分别设于所述聚焦透镜的两端。
3.如权利要求1所述的激光剥离设备,其特征在于,在进行所述激光扫描处理时,所述激光剥离平台带动所述待剥离工件沿第一方向运动,以使所述激光发射器发射的激光沿与所述第一方向相反的方向,依次对所述待剥离工件进行所述激光扫描处理。
4.如权利要求3所述的激光剥离设备,其特征在于,所述激光剥离设备还包括:
整平装置;所述整平装置具有压持件,所述压持件的一端连接于所述激光发射腔体,所述压持件的另一端用于在进行所述激光扫描处理时,沿与所述第一方向相反的方向依次压持所述待剥离工件,以使所述待剥离工件经过所述激光扫描处理的区域处于平整状态。
5.如权利要求4所述的激光剥离设备,其特征在于,所述整平装置还包括
第二驱动机构,所述压持件与所述激光发射腔体通过所述第二驱动机构连接,所述第二驱动机构用于驱动所述压持件相对所述激光发射腔体升降运动,以使所述压持件压持所述待剥离工件。
6.如权利要求5所述的激光剥离设备,其特征在于,所述整平装置还包括:
缓冲机构,所述缓冲机构设于所述第二驱动机构与所述压持件之间。
7.如权利要求4所述的激光剥离设备,其特征在于,所述整平装置还包括:
滚轮,所述滚轮设于所述压持件用于压持的端部,所述滚轮的外表面包裹有缓冲层。
8.如权利要求4至7任一项所述的激光剥离设备,其特征在于,所述整平装置的数量至少为两个,至少两个所述整平装置各自的压持件分别设于所述激光发射腔体的两侧。
9.如权利要求8所述的激光剥离设备,其特征在于,至少两个所述整平装置各自的压持件依次设置在所述第一方向上。
10.一种柔性显示器件的制备方法,采用如权利要求1至9任一项所述的激光剥离设备,其特征在于,包括如下步骤:
将待剥离工件置于所述激光剥离平台上,所述待剥离工件包括承载基板和设置在所述承载基板上的柔性显示器件;
所述激光发射器朝所述聚焦透镜发射激光,并对所述激光剥离平台上的待剥离工件进行激光扫描处理;所述聚焦透镜在所述第一驱动机构的驱动下相对所述激光发射腔体升降运动,以使所述激光的焦点聚焦在所述承载基板与所述柔性显示器件之间的界面上;
将所述柔性显示器件与所述承载基板分离。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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