[发明专利]一种用于对半导体废气进行处理的净气器

说明书

本发明属于净气器领域，具体为一种用于对半导体废气进行处理的净气器，包括底座，所述底座的顶部两侧分别固定有第一筒体和第二筒体，所述第一筒体的顶部连通有第一导管，所述第一导管的顶部连通有风机，所述风机的顶部连通有进气管；所述第一筒体的内腔中部固定有活性炭过滤网板和高效HEPA过滤网板。本发明根据进入的尾气浓度可利用控制器对曝气机进行调节，从而保证和反应液体的反应充分性，同时能够根据检测结果进行调节网框的倾斜的角度，从而能够调节网框内活性炭颗粒以及吸水树脂颗粒和气体的接触率，从而调整清理效率，从而使得能够根据烟雾的浓度进行调节，保证精准化的处理废气，避免排放出现不合格的情况发生。

技术领域

本发明涉及净气器领域，具体为一种用于对半导体废气进行处理的净气器。

背景技术

半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。

现有的半导体在加工生产的过程中，会产生废气，从而需要利用设备对废气进行处理，从而能够避免废气直接排放对空气造成污染，同时也避免对人体造成伤害，现有的净化设备，大多都是通过反应的液体进行反应，然后再通过过滤的方式进行处理后直接排放，但是在处理的过程中，存在处理不彻底的情况，而且在处理的过程中，无法根据烟雾浓度的大小进行调节，进而针对于不同浓度的废气处理效果不佳。为此，需要设计新的技术方案给予解决。

发明内容

本发明的目的在于提供一种用于对半导体废气进行处理的净气器，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于对半导体废气进行处理的净气器，包括底座，所述底座的顶部两侧分别固定有第一筒体和第二筒体，所述第一筒体的顶部连通有第一导管，所述第一导管的顶部连通有风机，所述风机的顶部连通有进气管；

所述第一筒体的内腔中部固定有活性炭过滤网板和高效HEPA过滤网板，所述第一筒体的内腔底部固定有曝气机，所述第一筒体的右侧壁下侧连通有排水管，所述第一筒体的左侧壁下侧固定有液泵，所述液泵的进液口连通有进液管，所述液泵的出液口连通有导液管，所述导液管的外端和第一筒体连通，所述第一导管的外壁上侧固定安装有烟雾浓度传感器，所述第一导管的尾端贯穿活性炭过滤网板和高效HEPA过滤网板且插接于第一筒体的内腔下侧，所述第一筒体的右侧壁中部固定有控制器，所述第一筒体的右侧壁上侧连通有第二导管，所述第二导管的外端贯穿第二筒体的外壁且嵌装于第二筒体的内壁上，所述第二导管的出气口置于第二筒体的内腔底部；

所述第二筒体的内腔两侧壁均固定有驱动壳，所述驱动壳的内腔固定有电机，所述电机的传动轴外端固定连接有网框，所述网框贯穿于驱动壳外壁开设的孔洞，所述网框的内腔填充有活性炭颗粒和吸水树脂颗粒，所述第二筒体的顶部连通有排气管，所述排气管的外壁固定有尾气检测仪。

作为本发明的一种优选实施方式，所述烟雾浓度传感器和尾气检测仪的信号输出端和控制器的信号输入端连接，所述控制器的信号输出端分别与液泵、曝气机、电机的信号输入端连接。

作为本发明的一种优选实施方式，所述排水管的外壁固定安装有电磁阀，所述控制器的信号输出端和电磁阀的信号输入端连接。

作为本发明的一种优选实施方式，所述导液管的外端至于活性炭过滤网板下侧。

作为本发明的一种优选实施方式，左右两侧的所述网框分别交错设置。

作为本发明的一种优选实施方式，所述第二筒体的内腔为方形腔，所述网框的前后侧壁分别贴合于第二筒体的内腔前后壁。

作为本发明的一种优选实施方式，所述风机的外部通过连接杆和第一筒体的外壁固定连接。