[发明专利]能有效提升炉内共晶温度均匀性的共晶炉控制方法

权利要求书

1.一种能有效提升炉内共晶温度均匀性的共晶炉控制方法，包括炉内腔体（1），在炉内腔体（1）中的底部，均匀排布有石英灯（6），在石英灯（6）正上方的炉内腔体中，设置有铝碳化硅板（2），在铝碳化硅板（2）上，设置有共晶焊接的微电子封装器件，在铝碳化硅板（2）上从左向右间隔地设置有左侧热电偶插入孔（11）、中部热电偶插入孔（12）和右侧热电偶插入孔（13），在石英灯（6）内，设置有中间缠绕稀松，但两端缠绕密集的灯丝（10）；在炉内腔体（1）中的底部均匀排布的石英灯（6）被从左向右，依次并联成三组，即左侧石英灯并联组（14）、中部石英灯并联组（15）和右侧石英灯并联组（16），在左侧石英灯并联组（14）上连接有左侧调压器（17），左侧调压器（17）的输入端与供电电源连接在一起，在左侧调压器（17）的控制端上，连接有左侧温度控制模块（18），左侧温度控制模块（18）的输入端上连接有插接在左侧热电偶插入孔（11）中的左侧热电偶，在中部石英灯并联组（15）上连接有中部调压器（19），中部调压器（19）的输入端与供电电源连接在一起，在中部调压器（19）的控制端上连接有中部温度控制模块（20），中部温度控制模块（20）的输入端上连接有插接在中部热电偶插入孔（12）中的中部热电偶，在右侧石英灯并联组（16）上连接有右侧调压器（21），右侧调压器（21）的输入端与供电电源连接在一起，在右侧调压器（21）的控制端上连接有右侧温度控制模块（22），右侧温度控制模块（22）的输入端上连接有插接在右侧热电偶插入孔（13）中的右侧热电偶；在铝碳化硅板（2）下方的炉内腔体的底部中央位置处，设置有冷却惰性气体中央进气管（7），在铝碳化硅板（2）下方的炉内腔体的底部四个顶角位置处，均设置有冷却惰性气体边角进气管（9），在冷却惰性气体中央进气管（7）的一侧的炉内腔体（1）中的底部设置有排气口（8）；在铝碳化硅板（2）上方的炉内腔体左侧板（3）上，设置有冷却惰性气体左侧进气嘴（4），在铝碳化硅板（2）下方的炉内腔体右侧板上，设置有冷却惰性气体右侧进气嘴（5）；其特征在于以下方法：

左侧温度控制模块（18）通过采集左侧热电偶插入孔（11）中的左侧热电偶温度，通过PID算法，控制输出4-20mA电流信号给左侧调压器（17），实现对左侧石英灯并联组（14）的输出功率的控制；中部温度控制模块（20）通过采集插接在中部热电偶插入孔（12）中的中部热电偶温度，通过PID算法，控制输出4-20mA电流信号给中部调压器（19），实现对中部石英灯并联组（15）的输出功率的控制；右侧温度控制模块（22）通过采集插接在右侧热电偶插入孔（13）中的右侧热电偶温度，通过PID算法，控制输出4-20mA电流信号给调压器（21），实现对右侧石英灯并联组（16）的输出功率的控制；通过对以上三组石英灯的输出功率的控制，实现铝碳化硅板（2）上温度的不均匀性达到正负2摄氏度的要求。

2.根据权利要求1所述的一种能有效提升炉内共晶温度均匀性的共晶炉控制方法，其特征在于，在共晶炉进行共晶工艺的最后冷却时，是同时通过冷却惰性气体左侧进气嘴（4）、冷却惰性气体右侧进气嘴（5）、在铝碳化硅板（2）下方的炉内腔体的底部中央位置处设置的冷却惰性气体中央进气管（7）和在铝碳化硅板（2）下方的炉内腔体的底部四个顶角位置处，设置的冷却惰性气体边角进气管（9），向炉内通入冷却惰性气体的，在冷却惰性气体左侧进气嘴（4）上连接有分散气体的喷头。